[发明专利]真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器

说明书

真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器。减少真空马达用编码器中的杂质气体的产生。第一真空用马达(M1)具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件(73)；将第一回转轴部件(73)支承为能够旋转的轴承(97)；盘(145)，其能够与第一回转轴部件(73)一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承(97)的第一托架(95)；凹部(151)，其以在轴向上凹陷的方式形成于第一托架(95)；和传感器单元(147)，其隔着借助凹部(151)形成的薄壁部(185)而与盘(145)在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元(147)且成为大气压的空间和配置盘(145)且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部(185)隔绝。

技术领域

公开的实施方式涉及真空用机器人、真空用马达以及真空马达用编码器。

背景技术

在专利文献1中，记载了具备真空用马达的真空用机器人。真空用马达具有：旋转板，其在表面配置有生成信号的符号；传感器，其与旋转板的表面对置配置，能够检测信号；传感器室，在该传感器室的内部配置有传感器，在该传感器室的与传感器对置的部分设有开口；以及透过窗，其以堵塞开口的方式设置，使信号透过，传感器室的内部空间与配置有旋转板的空间分离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-231652号公报

在上述现有技术的结构中，一般在传感器室的开口和透过窗之间实施利用密封材料的密封处理。但是，存在如下的问题：若密封材料被加热，则有可能向配置有旋转板的空间放出杂质气体。

发明内容

本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于，提供一种能够减少杂质气体的产生的真空用机器人、真空用马达以及真空马达用编码器。

为了解决上述课题，根据本发明的一个观点，应用一种真空用机器人，该真空用机器人具备：真空用马达；和由所述真空用马达驱动的臂；所述真空用马达具有：轴，其在轴向上延伸设置；轴承，其将所述轴支承为能够旋转；盘，其被配置成能够与所述轴一起旋转，在所述盘形成有缝隙；轴承支承部件，其由非磁性材料构成，支承所述轴承；凹部，其以在轴向上凹陷的方式形成于所述轴承支承部件；以及磁式传感器，其隔着借助所述凹部形成的薄壁部而与所述盘在所述轴向上对置配置，对所述缝隙进行检测，配置所述磁式传感器且成为大气压的空间和配置所述盘且被减压为比所述大气压低的压力的空间被所述薄壁部隔绝。

另外，根据本发明的另一观点，应用一种真空用马达，所述真空用马达具有：轴，其在轴向上延伸设置；轴承，其将所述轴支承为能够旋转；盘，其被配置成能够与所述轴一起旋转，在所述盘形成有缝隙；轴承支承部件，其由非磁性材料构成，支承所述轴承；凹部，其以在轴向上凹陷的方式形成于所述轴承支承部件；以及磁式传感器，其隔着借助所述凹部形成的薄壁部而与所述盘在所述轴向上对置配置，对所述缝隙进行检测，配置所述磁式传感器且成为大气压的空间和配置所述盘且被减压为比所述大气压低的压力的空间被所述薄壁部隔绝。

另外，根据本发明的另一观点，应用一种真空马达用编码器，所述真空马达用编码器具有：盘，其被配置成能够与轴一起旋转，在所述盘形成有缝隙，所述轴在轴向上延伸设置且由轴承支承为能够旋转；和磁式传感器，其隔着借助凹部形成的薄壁部而与所述盘在所述轴向上对置配置，对所述缝隙进行检测，所述凹部以在所述轴向上凹陷的方式形成于轴承支承部件，该轴承支承部件由非磁性材料构成且支承所述轴承，配置所述磁式传感器且成为大气压的空间和配置所述盘且被减压为比所述大气压低的压力的空间被所述薄壁部隔绝。

发明效果

根据本发明的真空用机器人等，能够减少杂质气体的产生。

附图说明

图1是表示机器人系统的概略结构的一例的示意图。

图2是表示真空用机器人的动力机构的概略结构的一例的示意图。