[发明专利]元件清洁设备

权利要求书

1.一种元件清洁设备，其特征在于，所述元件清洁设备包括：负压操作箱和设置于所述负压操作箱内的高压吹扫器以及负压吸尘装置，其中：

所述负压操作箱，用于放置待清洁的目标元件；

所述高压吹扫器，用于向所述目标元件吹扫用于清洁所述目标元件的空气，以将所述目标元件沉积的灰尘吹扫至所述负压操作箱的空气环境中；

所述负压吸尘装置，用于对所述负压操作箱的空气环境中的灰尘进行吸纳处理。

2.根据权利要求1所述的元件清洁设备，其特征在于，所述元件清洁设备还包括设置于所述负压操作箱内的承载台；

所述承载台，用于承载所述目标元件。

3.根据权利要求2所述的元件清洁设备，其特征在于，所述高压吹扫器设置于靠近所述承载台的承载面的一侧，所述负压吸尘装置设置于远离所述承载台的承载面的一侧。

4.根据权利要求1所述的元件清洁设备，其特征在于，所述高压吹扫器包括本体和喷嘴，所述本体内设置有空气压缩器，所述喷嘴中设置有等离子发生器；

所述空气压缩器，用于对空气进行压缩处理、除油处理以及除湿处理，得到经过处理后的压缩空气；

所述喷嘴，用于喷出所述压缩空气；

所述等离子发生器，用于对由所述喷嘴喷出的所述压缩空气进行电离处理。

5.根据权利要求1所述的元件清洁设备，其特征在于，所述负压吸尘装置依次设置灰尘过滤组件、灰尘收纳箱以及负压调节部件；

所述负压调节部件，用于将所述负压操作箱内的空气抽入至所述负压吸尘装置中；

所述灰尘过滤组件，用于过滤抽入的空气中的灰尘；

所述灰尘收纳箱，用于收纳过滤到的灰尘。

6.根据权利要求5所述的元件清洁设备，其特征在于，所述元件清洁设备还包括处理器，所述负压吸尘装置还包括灰尘识别组件，所述灰尘识别组件与所述处理器连接；

所述灰尘识别组件，用于识别抽入至所述负压吸尘装置中的空气中灰尘的颗粒大小以及灰尘浓度，并将识别结果传递至所述处理器；

所述处理器，用于根据所述识别结果生成灰尘报告，所述灰尘报告用于指示所述目标元件上沉积的灰尘的来源。

7.根据权利要求1所述的元件清洁设备，其特征在于，所述元件清洁设备还包括：设置于所述负压操作箱的入口处的静电防护系统；

所述静电防护系统，用于在所述目标元件进入所述负压操作箱过程中，对所述目标元件所带的静电进行消除处理。

8.根据权利要求1所述的元件清洁设备，其特征在于，所述元件清洁设备还包括：处理器以及设置于所述负压操作箱内的清洁度识别组件，所述清洁度识别组件与所述处理器连接；

所述清洁度识别组件，用于识别所述目标元件各个位置清洁后的灰尘颗粒大小以及灰尘浓度，并将识别结果传递至所述处理器；

所述处理器，用于根据所述识别结果判断所述目标元件中的是否存在灰尘颗粒大小大于预设灰尘颗粒阈值的位置或灰尘浓度大于预设灰尘浓度阈值的位置。

9.根据权利要求8所述的元件清洁设备，其特征在于，所述处理器，还用于：

在所述目标元件存在灰尘颗粒大小大于预设灰尘颗粒阈值的位置或灰尘浓度大于预设灰尘浓度阈值的位置的情况下，针对所述位置控制所述高压吹扫器向所述位置吹扫用于清洁所述目标元件的空气；

在所述目标元件不存在灰尘颗粒大小大于预设灰尘颗粒阈值的位置或灰尘浓度大于预设灰尘浓度阈值的位置的情况下，生成清洁度报告，所述清洁度报告用于指示所述目标元件清洁后的灰尘颗粒大小及灰尘浓度。

10.根据权利要求1所述的元件清洁设备，其特征在于，所述元件清洁设备还包括：处理器、通信组件以及设置于所述负压操作箱外部的人机接口平台，且，所述人机接口平台与所述处理器连接，所述处理器与所述通信组件连接；

所述处理器，用于生成清洁报告，并通过所述通信组件将所述清洁报告发送给所述人机接口平台；其中，所述清洁报告用于指示所述目标元件上沉积的灰尘的来源以及所述目标元件清洁后的灰尘颗粒大小及灰尘浓度；

所述人机接口平台，用于显示所述清洁报告。