[发明专利]膜的缺陷的检测系统

权利要求书

1.系统，其是对拉幅机式拉伸装置中的树脂膜的缺陷进行检测的系统，所述拉幅机式拉伸装置把持树脂膜的两端部而进行搬运并拉伸，

所述系统具有照射紫外光的照射部、和对所述紫外光进行检测的传感器部，

通过将所述紫外光照射至所述树脂膜，并利用所述传感器部对透过所述树脂膜的紫外光进行检测，从而检测树脂膜的缺陷。

2.系统，其是对拉幅机式拉伸装置中的树脂膜的缺陷进行检测的系统，所述拉幅机式拉伸装置在把持器具的台座与把持部之间把持树脂膜的两端部而进行搬运并拉伸，

所述系统具有照射光的照射部、和对所述光进行检测的传感器部，

所述照射部和所述传感器部以夹着所述树脂膜的方式相对地配置，

所述照射部位于所述树脂膜与台座接触的面侧，所述传感器部位于所述树脂膜与把持部接触的面侧，

通过将所述光照射至所述树脂膜，并利用所述传感器部对透过所述树脂膜的光进行检测，从而检测树脂膜的缺陷。

3.如权利要求2所述的系统，其中，所述光为紫外光。

4.如权利要求1或3所述的系统，其中，所述紫外光的最大强度的波长在200～380nm的范围内。

5.如权利要求1～4中任一项所述的系统，其设置于从所述树脂膜拉伸后由把持器具释放的位置至所述树脂膜被卷绕的位置之间。

6.如权利要求1～5中任一项所述的系统，其中，连结所述照射部和所述传感器部的照射轴与所述树脂膜的主面所成的角度为10～80°。

7.如权利要求1～6中任一项所述的系统，其中，连结所述照射部和所述传感器部的照射轴、与平行于树脂膜搬运方向且垂直于树脂膜主面的面所成的角度为0～15°。

8.如权利要求1～7中任一项所述的系统，其中，所述照射部与所述树脂膜的主面之间的沿着照射轴的距离为1～250mm。

9.如权利要求1～8中任一项所述的系统，其中，所述传感器部与所述树脂膜的主面之间的沿着照射轴的距离为1～250mm。

10.如权利要求1～9中任一项所述的系统，其中，对被把持的树脂膜的由把持器具释放的位置照射紫外光。

11.如权利要求1～10中任一项所述的系统，其中，所述树脂膜为选自由聚酰亚胺系树脂及聚酰胺系树脂组成的组中的树脂的膜。

12.如权利要求1～11中任一项所述的系统，其中，所述树脂膜包含紫外线吸收剂。

13.拉幅机式拉伸装置，其具有权利要求1～12中任一项所述的系统。

14.树脂膜的制造方法，其使用权利要求13所述的拉幅机式拉伸装置。

15.树脂膜的缺陷的检测方法，其使用权利要求1～12中任一项所述的系统。

16.树脂膜的制造方法，其使用拉幅机式拉伸装置对树脂膜进行热处理，所述制造方法具有下述工序：

把持树脂膜的两端部的工序；

将树脂膜在拉幅机式拉伸装置的炉内搬运的工序；

将从所述装置出来的树脂膜由把持器具释放的工序；

设置检测部，使树脂膜从所述检测部之间通过的工序，所述检测部中，拉幅机式拉伸装置所具备的、照射紫外光的照射部所照射的光由对所述紫外光进行检测的传感器部接收；

在树脂膜具有缺陷的情况下，紫外光从所述缺陷部通过，受光部接收紫外光的工序。