[发明专利]滤光器、包括滤光器的光谱仪以及包括滤光器的电子装置

权利要求书

1.一种滤光器，包括：

第一反射器，包括周期性地二维布置的多个第一结构，所述多个第一结构中的每个第一结构具有环形形状；以及

第二反射器，与所述第一反射器间隔开，所述第二反射器包括周期性地二维布置的多个第二结构。

2.根据权利要求1所述的滤光器，其中，所述多个第二结构中的每个第二结构具有环形形状或盘形形状。

3.根据权利要求1所述的滤光器，其中，所述多个第一结构的第一尺寸和第一间距小于入射在所述滤光器上的入射光的波长，并且

其中，所述多个第二结构的第二尺寸和第二间距小于所述入射光的波长。

4.根据权利要求3所述的滤光器，其中，所述入射光的透射波长是基于以下至少一项确定的：所述多个第一结构和所述多个第二结构的相应折射率、所述多个第一结构的第一尺寸、所述多个第二结构的第二尺寸、所述多个第一结构的第一间距、所述多个第二结构的第二间距以及所述第一反射器与所述第二反射器之间的间隔。

5.根据权利要求4所述的滤光器，其中，所述多个第一结构的第一尺寸包括以下至少一项：第一内半径、第一外半径、所述第一内半径与所述第一外半径之间的第一比率以及第一高度，并且

其中，所述多个第二结构的第二尺寸包括以下至少一项：第二内半径、第二外半径、所述第二内半径与所述第二外半径之间的第二比率以及第二高度。

6.根据权利要求5所述的滤光器，其中，所述入射光的透射波长是基于以下至少一项确定的：所述第一内半径、所述第一外半径、所述第一内半径与所述第一外半径之间的第一比率、所述第二内半径、所述第二外半径以及所述第二内半径与所述第二外半径之间的第二比率。

7.根据权利要求1所述的滤光器，其中，所述多个第二结构中的每个第二结构在与所述滤光器的平面垂直的方向上与所述多个第一结构中的对应的第一结构完全重叠。

8.根据权利要求1所述的滤光器，还包括围绕所述多个第一结构和所述多个第二结构的材料层。

9.根据权利要求8所述的滤光器，其中，所述多个第一结构和所述多个第二结构中的每一个包括介电材料，所述介电材料具有比所述材料层的折射率高的折射率，并且具有比所述材料层的吸收系数低的吸收系数。

10.根据权利要求9所述的滤光器，其中，所述多个第一结构和所述多个第二结构中的每一个包括以下至少一项：晶体硅、非晶硅、氧化钛、氮化硅、氮化钛、透明导电氧化物、III-V族半导体化合物和金属氧化物。

11.根据权利要求1所述的滤光器，还包括与所述第二反射器间隔开的第三反射器，所述第三反射器包括周期性地二维布置的多个第三结构。

12.根据权利要求11所述的滤光器，其中，所述多个第三结构中的每个第三结构具有环形形状或盘形形状。

13.一种滤光器，包括：

多个局部滤波器，具有不同的中心波长，

其中，所述多个局部滤波器中的每个局部滤波器包括：

第一反射器，包括周期性地二维布置的多个第一结构，所述多个第一结构中的每个第一结构具有环形形状；以及

第二反射器，与所述第一反射器间隔开，所述第二反射器包括周期性地二维布置的多个第二结构。

14.根据权利要求13所述的滤光器，其中，所述多个第二结构中的每个第二结构具有环形形状或盘形形状。