[发明专利]制备三维波导的控制参数确定方法、制备方法和相关产品

权利要求书

1.一种制备三维波导的控制参数确定方法，其特征在于，包括：

获取用以制备三维波导的波导材料；

获得第一模场直径和第二模场直径；所述第一模场直径和所述第二模场直径为三维波导的第一端和第二端的目标模场直径；

根据所述第一模场直径和所述第二模场直径设置多重扫描方式下的多组测试参数；

在所述多重扫描方式下以所述多组测试参数分别控制飞秒激光扫描设备对所述波导材料进行扫描；

根据所述第一模场直径和所述第二模场直径，确定出所述多组测试参数中最优的一组测试参数作为在所述波导材料上制备三维波导的控制参数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一模场直径和所述第二模场直径，确定出所述多组测试参数中最优的一组测试参数作为在所述波导材料上制备三维波导的控制参数，具体包括：

获得以所述多组测试参数中每组测试参数控制所述飞秒激光扫描设备在所述波导材料上制备出的三维波导第一端和第二端的实测模场直径；

将每组测试参数对应的实测模场直径分别与所述目标模场直径进行比较，将与所述目标模场直径差距最小的实测模场直径对应的一组测试参数作为在所述波导材料上制备三维波导的控制参数。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一模场直径和所述第二模场直径，确定出所述多组测试参数中最优的一组测试参数作为在所述波导材料上制备三维波导的控制参数，具体包括：

获得以所述多组测试参数中每组测试参数控制所述飞秒激光扫描设备在所述波导材料上制备出的三维波导第一端和第二端的实测模场直径；

将每组测试参数对应的实测模场直径分别与所述目标模场直径进行比较，根据比较结果确定出最优的一组测试参数；

根据所述最优的一组测试参数进行优化，更新所述多组测试参数；

在更新后的多组测试参数中确定出一组最优的测试参数。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将每组测试参数对应的实测模场直径分别与所述目标模场直径进行比较，具体包括：

将每组测试参数对应的实测模场直径分别与所述目标模场直径进行单端比较；

所述根据比较结果确定出最优的一组测试参数，具体包括：

确定出与所述第一模场直径差距最小的第一端的实测模场直径对应的一组测试参数作为最优的一组测试参数；或，确定出与所述第二模场直径差距最小的第二端的实测模场直径对应的一组测试参数作为最优的一组测试参数。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述多重扫描方式包括：移位扫描方式和/或原位扫描方式；

所述移位扫描方式下的测试参数包括：变化的扫描次数和/或变化的相邻两次扫描的位移量，和激光的能量；

所述原位扫描方式下的测试参数包括：变化的扫描次数和激光的能量。

6.一种三维波导制备方法，其特征在于，包括：

获得制备三维波导的控制参数；所述控制参数为依据权利要求1-5任一项所述的方法确定的；

根据所述控制参数控制飞秒激光扫描设备向所述波导材料发射激光以制备三维波导。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：

获得所述第一模场直径对应的波导第一高度值和所述第二模场直径对应的波导第二高度值；

根据所述波导第一高度值和所述波导第二高度值生成波导直写路径；

所述根据所述控制参数控制飞秒激光扫描设备向所述波导材料发射激光以制备三维波导，具体包括：

根据所述控制参数和所述波导直写路径控制飞秒激光扫描设备向所述波导材料发射激光以制备三维波导。