[发明专利]一种基于疏水聚四氟乙烯微孔材料包覆的柔性湿度传感器的制备工艺

权利要求书

1.一种基于疏水聚四氟乙烯微孔材料包覆的柔性湿度传感器的制备工艺，其特征在于，所述基于疏水聚四氟乙烯微孔材料包覆的柔性湿度传感器，包括，疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)、金属电极层(2)、湿度敏感材料层(3)、疏水聚四氟乙烯微孔材料保护层(4)；

所述金属电极层(2)位于所述疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)和所述湿度敏感材料层(3)之间，所述湿度敏感材料层(3)之上还设有疏水聚四氟乙烯微孔材料保护层(4)，所述疏水聚四氟乙烯微孔材料保护层(4)键合在所述疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)上；

所述金属电极层(2)为银电极，所述金属电极层(2)通过丝网印刷工艺形成在疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)上；所述度敏感材料层(3)通过滴涂氧化石墨烯水分散液形成在所述金属电极层(2)上；

所述疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)和疏水聚四氟乙烯微孔材料保护层(4)的厚度在0.18mm-0.22mm之间；微孔孔径在0.22um-0.8um之间；

所述基于疏水聚四氟乙烯微孔材料包覆的柔性湿度传感器的制备工艺，步骤如下：

步骤S1、将疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)在25℃的乙醇中浸泡3小时；

步骤S2、在25℃的条件下阴干10分钟并且保留部分乙醇在疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)上；

步骤S3、通过丝网印刷工艺将银浆沉积在疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)上形成金属电极层(2)，并在80℃下真空干燥30分钟；

步骤S4、在金属电极层(2)上滴涂0.1ml浓度为0.5mg/ml的氧化石墨烯水分散液并在50℃真空干燥1h，形成湿度敏感材料层(3)；

步骤S5、将疏水聚四氟乙烯微孔材料保护层(4)键合在经步骤S4制备得到的疏水聚四氟乙烯微孔材料衬底层(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种基于疏水聚四氟乙烯微孔材料包覆的柔性湿度传感器的制备工艺，其特征在于，在完成步骤S4之后，进行步骤S5之前，还需要用卤素加热器将疏水聚四氟乙烯微孔材料保护层(4)的表面温度加热至260℃，并且采用功率密度8.3W/cm²的常压等离子处理1200s。