[发明专利]一种掩膜版存储使用一体装载盒在审

专利信息
申请号: 202011121526.7 申请日: 2020-10-20
公开(公告)号: CN112198755A 公开(公告)日: 2021-01-08
发明(设计)人: 钱超;杨波 申请(专利权)人: 江苏高光半导体材料有限公司
主分类号: G03F1/66 分类号: G03F1/66;B65D83/08
代理公司: 南京行高知识产权代理有限公司 32404 代理人: 肖念
地址: 212400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜版 存储 使用 一体 装载
【权利要求书】:

1.一种掩膜版存储使用一体装载盒,包括保存筒(1),所述保存筒(1)内设空腔,其特征在于,所述空腔的内顶面的中心处固定连接有驱动机构(2),所述空腔内还设有用于配合驱动机构(2)的存料机构(3),所述保存筒(1)的顶面上贯穿开设有用于配合存料机构(3)的取料口,所述保存筒(1)上还设有用于配合取料口的开合机构(4),所述空腔的内底部还固定连接有换气机构(5),所述换气机构(5)的两端均与存料机构(3)连通设置。

2.根据权利要求1所述的掩膜版存储使用一体装载盒,其特征在于,所述驱动机构(2)包括固定连接于空腔内顶面的连接柱(6),所述连接柱(6)的一端固定连接有连接杆(7),所述连接杆(7)上固定连接有驱动电机(8),所述驱动电机(8)的驱动轴上同轴固定连接有齿轮(9)。

3.根据权利要求2所述的掩膜版存储使用一体装载盒,其特征在于,所述存料机构(3)包括设置于空腔内的转动筒(10),所述转动筒(10)与空腔的内顶面转动连接,所述转动筒(10)的内测壁上同轴固定连接有齿环(11),所述齿环(11)与齿轮(9)啮合,所述转动筒(10)的外侧壁上设有多个升降机构(12),所述转动筒(10)的外侧壁上还套设有第一环形板(13),所述第一环形板(13)与转动筒(10)转动密封连接,所述第一环形板(13)上设有用于配合升降机构(12)的顶升机构(14),所述转动筒(10)的侧壁上开设有多个贯穿的气孔(15)。

4.根据权利要求3所述的掩膜版存储使用一体装载盒,其特征在于,所述升降机构(12)包括设置于转动筒(10)外侧壁上的多条第一滑槽(16),所述第一滑槽(16)内滑动连接有与之相匹配的第一滑块(17),所述第一滑块(17)上固定连接有第一伸缩杆(18),所述第一伸缩杆(18)上套设有第一弹簧(19),所述转动筒(10)外侧壁上同轴固定连接有第二环形板(20),所述第二环形板(20)的外侧边缘同轴设有卡槽(21),所述卡槽(21)内滑动连接有卡条(22),所述卡条(22)与保存筒(1)的内壁同轴固定连接,所述第二环形板(20)的端面上还有多条分割缝(23),所述第二环形板(20)的端面上设有多个上下贯通的开口,所述开口设置于多条分割缝(23)之间,所述开口内设有夹紧机构(24),所述夹紧机构(24)与第一滑块(17)固定连接。

5.根据权利要求4所述的掩膜版存储使用一体装载盒,其特征在于,所述夹紧机构(24)包括设置于开口内的第一顶板(25),所述第一顶板(25)上固定连接有固定块(26),所述固定块(26)上设有多条嵌槽,所述嵌槽的内壁上固定连接有多个海绵块,所述嵌槽内卡设有一对卡接盒(27),两块所述卡接盒(27)相互卡合且其内壁上固定连接有橡胶条(28),所述第一顶板(25)上固定连接有连接板(29),所述连接板(29)远离第一顶板(25)的一端固定连接有第二顶板(30)。

6.根据权利要求5所述的掩膜版存储使用一体装载盒,其特征在于,所述顶升机构(14)包括固定连接于第一环形板(13)上的液压杆(31),所述液压杆(31)上固定连接有第三顶板(32),所述第三顶板(32)的尺寸与第一顶板(25)相同,所述第三顶板(32)的下端固定连接有一对固定杆(34),所述固定杆(34)倾斜设置,两根所述固定杆(34)分别设置于液压杆(31)的两侧,两根所述固定杆(34)远离第三顶板(32)的一端分别固定连接有竖直的隔板(35)。

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