[发明专利]环境数据监测方法及监测系统

说明书

本申请提供一种环境数据监测方法及监测系统。该方法包括：第二服务器接收第一服务器发送的第一环境数据；第二服务器确定所述第一环境数据中有数据丢失；第二服务器从第一服务器处获取第一环境数据中的丢失数据；第二服务器根据第一环境数据和丢失数据得到第二环境数据，当第二环境数据中的采样气体的浓度是否超过预设浓度阈值时，第二服务器向终端设备发送告警信息。本申请的方法可以解决无尘室的空气分子污染物的监测结果不准确的问题。

技术领域

本申请涉及半导体制备环境监测技术，尤其涉及一种环境数据监测方法及监测系统。

背景技术

随着半导体产品制备工序复杂性的增加，以及半导体产品特征尺寸的不断缩小，空气污染物对产品的影响已经成为半导体产品制备过程中需要关注的重点问题。例如环境空气中产生的氨气和酸性气体会影响金属导线的形成，氨气和酸性气体反应会生成盐类影响半导体产品的良率等。因此，需要在无尘室进行半导体产品的制备，并对无尘室环境中的空气分子污染物进行监测。

现有的技术在对无尘室中的空气分子污染物进行监测的时候，是通过量测设备采集无尘室中的空气分子的浓度数据，并将采集到的浓度数据发送至监测系统，由监测系统判断不同的空气分子的浓度是否超过预设浓度，若超过，则进行警报，以告知工作人员对无尘室中的空气分子污染物进行处理。

然而，现有技术在进行无尘室的空气分子污染物监测的时候，容易在数据传输过程中丢失浓度数据，进而造成无尘室的空气分子污染物的监测结果不准确的问题。

发明内容

本申请提供一种环境数据监测方法及监测系统，用以解决现有技术在进行无尘室的空气分子污染物监测的时候，容易在数据传输过程中丢失浓度数据，进而造成无尘室的空气分子污染物的监测结果不准确的问题。

一方面，本申请提供一种环境数据监测方法，应用于监测系统，所述监测系统包括第一服务器和第二服务器，包括：

所述第二服务器接收所述第一服务器发送的第一环境数据；

所述第二服务器确定所述第一环境数据中有数据丢失；

所述第二服务器从所述第一服务器处获取所述第一环境数据中的丢失数据；

所述第二服务器根据所述第一环境数据和所述丢失数据得到第二环境数据；

当所述第二环境数据中的采样气体的浓度超过预设浓度阈值时，所述第二服务器向终端设备发送告警信息。

其中一个实施例中，所述第二服务器确定所述第一环境数据中有数据丢失，包括：

所述第二服务器将所述第一环境数据存储到检测表，所述检测表的行信息包括预设数量的不同类型的采样点，所述检测表的列信息包括预设数量的不同类型的采样气体，所述检测表的行和列对应的单元格用于存储采样气体的浓度；

当所述检测表中的目标行和目标列对应的目标单元格中没有数值时，确定所述第一环境数据中的数据有丢失。

其中一个实施例中，所述第二服务器接收所述第一服务器发送的第一环境数据之后，所述方法还包括：

所述第二服务器接收所述第一服务器发送的数据比对指令；所述数据比对指令用于指示所述第二服务器确定所述第一环境数据中是否有数据丢失。

其中一个实施例中，所述方法还包括：

所述第二服务器接收所述第一服务器发送的量测设备的运行状态数据；

所述第二服务器比对所述运行状态数据和预设运行状态数据，确定所述量测设备是否运行异常；

若所述量测设备运行异常，则所述第二服务器向所述终端设备发送运行异常告警信息。

其中一个实施例中，所述方法还包括：