[发明专利]一种氟化氢气体中微量水的分析装置以及分析方法

权利要求书

1.一种氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，包括：气体光吸收检测池，分析仪，真空泵，无水惰性气体钢瓶，以及氢氟酸钢瓶，其中，气体光吸收检测池包括水平延伸的待测气体通道及其两侧的密封腔体，所述待测气体通道的两端伸入所述密封腔体内并由耐腐蚀光窗密封，一个密封腔体内设有激光点光源和一个反射镜，另一个密封腔体内设有光检测器探头和另一个反射镜；真空泵通过气路与所述密封腔体连接，无水惰性气体钢瓶通过气路分别与密封腔体以及待测气体通道连接，氢氟酸钢瓶通过气路与待测气体通道连接，其中，通过调节所述激光点光源和反射镜的位置和角度，使得由所述激光点光源发出的单波长激光在所述两个反射镜之间来回多次反射，最后到达光检测器探头，信号传输至所述分析仪，根据激光在所述待测气体通道内的吸收强度的测量实现对氟化氢气体中微量水含量的分析。

2.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，所述两个反射镜分别在待测气体通道的两端对称布置，所述激光点光源与光检测器探头分别在所述两个反射镜的外侧布置。

3.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，所述两个反射镜上分别设有一个激光通孔。

4.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，所述分析装置还包括与所述待测气体通道的出气接口连接的氟化氢气体吸收瓶，所述氢氟酸钢瓶与待测气体通道的进气接口连接。

5.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，所述耐腐蚀光窗相对竖直方向成一定夹角倾斜布置，所述夹角为15°～45°。

6.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，所述耐腐蚀光窗采用氟化钙窗片或者蓝宝石窗片。

7.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，连接于氢氟酸钢瓶和待测气体通道之间的气路采用伴热带伴热，伴热温度由温控器控制。

8.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，所述无水惰性气体钢瓶与氢氟酸钢瓶之间通过阀门连接。

9.根据权利要求1所述的氟化氢气体中微量水的分析装置，其特征在于，所述真空泵通过真空穿通密封件抽取所述密封腔体内的气体。

10.一种氟化氢气体中微量水的分析方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：提供一种根据权利要求1-9中任意一项所述的氟化氢气体中微量水的分析装置；

S2：开启真空泵，将所述待测气体通道两侧的密封腔体抽真空，然后打开所述无水惰性气体钢瓶，使无水惰性气体充满所述密封腔体，再开启真空泵对密封腔体抽真空，如此循环数次，以保证所述待测气体通道两侧的密封腔体内为无水惰性气氛；

S3：开启分析仪，采用无水惰性气体清洗吹扫所述待测气体通道，至待测气体通道内水含量降低至本底5ppm以下；以及

S4：关闭无水惰性气体钢瓶，使氟化氢气体进入所述待测气体通道，由所述激光点光源发出的单波长激光在两个反射镜之间来回多次反射，最后到达光检测器探头，信号传输至所述分析仪，根据对单波长激光在所述待测气体通道内的吸收强度的测量实现对氟化氢气体中微量水含量的分析。