[发明专利]一种基于压电陶瓷的相机控制系统及方法

说明书

本申请公开了一种基于压电陶瓷的相机控制系统，包括相机驱动控制器、压电陶瓷驱动器、相机拍摄控制器和相机，所述相机驱动控制器用于产生物距调节信号，所述物距调节信号被分为同步的第一路信号和第二路信号，所述第一路信号传递给所述压电陶瓷驱动器，所述第二路信号传递给所述相机拍摄控制器；所述压电陶瓷驱动器用于根据所述第一路信号驱动压电陶瓷产生形变，以调节所述相机的物距；所述相机拍摄控制器用于根据所述第二路信号生成相机拍摄信号，将所述相机拍摄信号传递给所述相机；所述相机用于根据所述相机拍摄信号拍摄。此外，基于该系统还提供了一种基于压电陶瓷的相机控制方法，该系统和方法能够提高相机拍摄的清晰度。

技术领域

本申请涉及工业控制技术领域，具体涉及一种基于压电陶瓷的相机控制系统及方法。

背景技术

传统技术中需要利用高速工业相机对晶圆进行缺陷检测。可通过高速工业相机对所检晶圆形貌进行拍照，然后对获取到的晶圆形貌特征进行分析以确定是否存在缺陷。

传统技术中的高速工业相机的控制包括两部分，第一部分是通过控制压电陶瓷的形变来驱动高速工业相机移动，以调整高速工业相机与待检晶圆之间的距离(物距)，使工业相机进行自动聚焦，另一部分是通过PLC信号控制高速工业相机按照特定地时序拍照。然而该两部分控制在传统技术中是分开的，只能通过时钟进行同步，但PLC信号可能会发生阻塞，进而产生不可控的延迟，这就造成相机在随压电陶瓷形变而移动的过程中可能会出现漏拍，因此传统技术中的高速工业相机的控制方法存在拍摄和调焦不同步，进而使得相机采集的拍摄画面不清晰的问题。

发明内容

为解决上述传统技术中的高速工业相机的控制方法存在拍摄和调焦不同步，进而使得相机采集的拍摄画面不清晰的问题，本申请特提供了一种能提高清晰度的基于压电陶瓷的相机控制系统。

一种基于压电陶瓷的相机控制系统，包括相机驱动控制器、压电陶瓷驱动器、相机拍摄控制器和相机；

所述相机驱动控制器用于产生物距调节信号，所述物距调节信号被分为同步的第一路信号和第二路信号，所述第一路信号传递给所述压电陶瓷驱动器，所述第二路信号传递给所述相机拍摄控制器；

所述压电陶瓷驱动器用于根据所述第一路信号驱动压电陶瓷产生形变，以调节所述相机的物距；

所述相机拍摄控制器用于根据所述第二路信号生成相机拍摄信号，将所述相机拍摄信号传递给所述相机；

所述相机用于根据所述相机拍摄信号拍摄。

在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器用于在检测到所述第二路信号的上升沿时，生成所述相机拍摄信号。

在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器包括编码器和调制器，所述编码器用于产生原始控制信号，所述调制器用于将所述原始控制信号与所述第二路信号调制成所述相机拍摄信号。

在其中一个实施例中，所述调制器用于将所述原始控制信号与所述第二路信号进行与操作产生相机拍摄信号。

在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器还包括放大器，所述放大器用于将所述第二路信号放大至与所述原始控制信号匹配。

在其中一个实施例中，所述相机拍摄控制器还包括延迟电路，所述延迟电路用于将所述相机拍摄信号延迟预设时长。

在其中一个实施例中，所述相机用于在检测到所述相机拍摄信号的上升沿/下降沿时拍摄。

在其中一个实施例中，所述相机还用于根据所述相机拍摄信号的信号强度和/或占空比设置拍摄参数，所述拍摄参数包括快门速度、曝光时长中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述系统还包括X轴位置监测模块，用于在检测到所述相机移动至预设位置时，向所述相机拍摄控制器发送反馈信号，以使所述相机拍摄控制器根据反馈信号产生所述相机拍摄信号。