[发明专利]有机EL面板用基板的制造方法、有机EL面板用基板及负型感光性树脂组合物

权利要求书

1.有机EL面板用基板的制造方法，所述有机EL面板用基板在表面具备经图案化的黑色遮光膜作为隔堤，所述黑色遮光膜包含内酰胺系颜料(D1)作为遮光剂(D)，所述制造方法包括下述步骤：

将包含遮光剂(D)、且能进行碱性显影的负型感光性树脂组合物涂布于所述基板上从而形成涂布膜的步骤；

按照所述黑色遮光膜的图案形状而以位置选择性方式将所述涂布膜曝光的步骤；

利用碱性显影液将经曝光的所述涂布膜显影的步骤；以及

通过显影后的后烘烤，形成图案形状角度为30度以上且90度以下的经图案化的黑色遮光膜的步骤，

作为所述负型感光性树脂组合物，使用包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、及所述遮光剂(D)的组合物，

所述碱溶性树脂(A)包含下述式(a-1)表示的树脂，

式(a-1)中，X^a表示下述式(a-2)表示的基团，t1表示0以上且20以下的整数，

式(a-2)中，R^a1各自独立地表示氢原子、碳原子数为1以上且6以下的烃基、或卤素原子，R^a2各自独立地表示氢原子或甲基，R^a3各自独立地表示直链或支链的亚烷基，t2各自独立地表示0或1，W^a表示下述式(a-3)表示的基团，

式(a-3)中的环A表示可以与芳香族环稠合、且可以具有取代基的脂肪族环，

R^a0表示-CO-Y^a-COOH表示的基团，Y^a表示从二羧酸酐除去酸酐基而得到的残基，

Z^a表示从四羧酸二酐除去2个酸酐基而得到的残基，

构成由2个Y^a及t1个Z^a组成的组的Y^a或Z^a中的至少1个包含氟原子。

2.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述t1为1以上且20以下的整数，t1个Z^a中的至少1个包含氟原子。

3.如权利要求2所述的制造方法，其中，作为所述Z^a的包含氟原子的所述残基具有氟代脂肪族烃基。

4.如权利要求1～3中任一项所述的制造方法，其中，所述内酰胺系颜料(D1)为下述式(d-1)表示的化合物，

式(d-1)中，X^d表示双键，R^d1各自独立地表示氢原子、甲基、硝基、甲氧基、溴原子、氯原子、氟原子、羧基、或磺基，R^d2各自独立地表示氢原子、甲基、或苯基，R^d3各自独立地表示氢原子、甲基、或氯原子。

5.如权利要求1～3中任一项所述的制造方法，其中，所述负型感光性树脂组合物包含氨基甲酸酯系分散剂。