[发明专利]一种激光直写能量校正方法及装置

权利要求书

1.一种激光直写能量校正方法，其特征在于，包括：

获取经微镜阵列反射后激光光束在探测器上形成的图像；

根据所述图像获取所述微镜阵列中至少部分区域中微镜的亮度值；

根据所述至少部分区域中微镜的亮度值获取扫描方向上每一列所述微镜的亮度积分值；

根据每一列所述微镜的亮度积分值对所述微镜阵列进行能量校正。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取经微镜阵列反射后激光光束在探测器上形成的图像之前，还包括：

控制所述探测器的曝光时间小于预设曝光时间。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据每一列所述微镜的亮度积分值对所述微镜阵列进行能量校正，包括：

获取所述亮度积分值中的最小值；

若一列所述微镜的所述亮度积分值大于所述最小值，则选取一列所述微镜中的第一部分微镜，使一列所述微镜中除第一部分微镜外的所有微镜的亮度积分值与所述最小值之间的差值小于预设差值；

在激光直写光刻时，控制所述第一部分微镜始终不工作，一列所述微镜中除第一部分微镜外的所有微镜处于正常工作状态。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取经微镜阵列反射后激光光束在探测器上形成的图像之前，还包括：

在所述微镜阵列与所述探测器之间的光路上设置亮度衰减片，所述亮度衰减片用于降低探测器接收到的激光光束的光亮度。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，多个所述微镜行列排布为矩阵，多个所述微镜的矩阵列方向平行于所述扫描方向。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，多个所述微镜行列排布为矩阵，多个所述微镜的矩阵列方向与所述扫描方向之间的夹角大于0°且小于90°。

7.一种激光直写能量校正装置，其特征在于，包括：

激光器，发射激光光束；

微镜阵列，包括阵列排布的多个微镜，反射所述激光光束；

探测器，获取经所述微镜阵列反射后激光光束在探测器上形成的图像；

控制器，根据所述图像获取所述微镜阵列中至少部分区域中微镜的亮度值，根据所述至少部分区域中微镜的亮度值获取扫描方向上每一列所述微镜的亮度积分值，根据每一列所述微镜的亮度积分值对所述微镜阵列进行能量校正。