[发明专利]差压式检测气路机构

权利要求书

1.一种差压式检测气路机构，包括气路机构、参考腔室；其特征在于所述气路机构，由进气阀，压力传感器，高精度差压传感器，平衡阀，泄压阀，消音器所构成，设计加压气流走向，能按预定方式对每个位置进行加压；所述参考腔室，与气路机构连接，在对被测件加压同时也能对参考腔室加压，能排除温度、压缩变形等引起的误差。

2.根据权利要求1所述的一种差压式检测气路机构，其特征在于：还包括进气阀，进气压力传感器，高精度差压传感器，平衡阀，参考腔室，泄压阀，消音器，检测接口;

所述进气阀的出气端通过不锈钢三通快拧接头，与进气压力传感器连接，所述高精度差压传感器，其P1口通过不锈钢三通快拧接头，与进气压力传感器和参考腔室A端相连接；其P2口通过不锈钢三通快拧接头，与平衡阀和检测接口相连接;

所述平衡阀一端与参考腔室的B端和差压传感器P2口相连接;

所述参考腔室的A端与差压传感器P1口、进气压力传感器和进气阀的出气端相连接；参考腔室的B端与平衡阀相连接；参考腔室的C端与泄压阀相连接;

所述平衡阀一端与参考腔室C端相连接，另一端与消音器连接。

3.根据权利要求2所述的一种差压式检测气路机构，其特征在于：进气阀，进气压力传感器，高精度差压传感器，平衡阀，参考腔室，泄压阀，消音器，检测接口之间的连接全部使用螺纹接头保证绝对无泄漏。