[发明专利]一种铁电畴定义的串联二维光伏电池及制备方法在审

专利信息
申请号: 202010966329.9 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN112086528A 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 王建禄;伍帅琴;吴广健;王旭东;沈宏;林铁;孟祥建;褚君浩 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/0224;H01L31/18
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 铁电畴 定义 串联 二维 电池 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种铁电畴定义的串联二维光伏电池,包括铁电功能层(1)、金属电极(2)、双极性过渡金属化合物二维半导体(3)、绝缘硅衬底(4),其特征在于,

所述的串联二维光伏电池结构自上而下依次为:铁电功能层(1)、金属电极(2)、双极性过渡金属化合物二维半导体(3)、绝缘硅衬底(4),其中:

所述的铁电功能层(1)为聚偏氟乙烯基铁电聚合物薄膜,厚度为60纳米;

所述的金属电极(2)为铬覆盖在双极性过渡金属化合物二维半导体上,金覆盖在铬上面的形状为立方体的3个金属电极,分别设置在双极性过渡金属化合物二维半导体(3)的两端及中间,铬厚度为15纳米,金厚度为25纳米;

所述的双极性过渡金属化合物二维半导体(3)为双极性过渡金属化合物MoTe2,厚度为8-12纳米;

所述的绝缘硅衬底(4)为表面覆盖有厚度为285纳米的二氧化硅的硅衬底。

2.一种制备如权利要求1所述铁电畴定义的串联二维光伏电池的方法,其特征在于包括以下步骤:

1)采用机械剥离转移方法将双极性过渡金属化合物二维半导体(3)转移至绝缘硅衬底(4)表面;

2)采用紫外光刻技术或者电子束曝光技术,结合热蒸发及剥离工艺制备3个金属电极(2),且3个金属电极分别位于双极性过渡金属化合物二维半导体(3)的两端及中间,形成左右两个平行的沟道;

3)运用旋涂方法制备铁电功能层(1),并在130℃温度下退火2小时保证功能层的结晶特性;

4)利用压电力显微镜极化铁电功能层,具体方法为:利用压电力显微镜针尖施加在铁电功能层(1)上的电压来极化P(VDF-TrFE),扫描电压和扫描频率分别控制为±25V和1.5Hz,扫描过程中,材料左数第一个沟道的左侧P(VDF-TrFE)施加+25V扫描电压,右侧施加-25V扫描电压,使两边的极化方向相反,极化方向分别指向和背向二维材料;同理,材料左数第二个沟道的左侧P(VDF-TrFE)施加+25V扫描电压,右侧施加-25V扫描电压,使两边的极化方向分别远离和指向二维材料,进而利用铁电场调控二维材料形成面内PNPN结。

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