[发明专利]酸性蚀刻废液的回收利用方法在审
申请号: | 202010963715.2 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN112080748A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 黄文涛;李再强;张伟奇;梁民 | 申请(专利权)人: | 深圳市祺鑫环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C07C55/07;C07C51/48 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 薛福玲 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 酸性 蚀刻 废液 回收 利用 方法 | ||
1.一种酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,包括以下步骤:
调节酸性蚀刻废液的pH值范围为1-2;
采用萃取剂溶液对酸性蚀刻废液进行萃取操作,静置分层后得到油相;
采用含有草酸根离子的溶液对所述油相进行反萃取操作,得到草酸铜。
2.如权利要求1所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,所述含有草酸根离子的溶液为草酸与醇溶剂的混合溶液。
3.如权利要求2所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,所述草酸的摩尔浓度范围为0.05mol/L-0.5mol/L,醇溶剂的质量浓度范围为50%-80%。
4.如权利要求2所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,采用含有草酸根离子的溶液对所述油相进行反萃取操作的步骤中,包括:
采用草酸与醇溶剂的混合溶液对所述油相进行反萃取操作,并控制反萃取过程中温度低于30℃,反萃取时间大于6h。
5.如权利要求1所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,所述酸性蚀刻废液与所述萃取剂溶液的体积比范围为1:2至1:6。
6.如权利要求1所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,所述萃取剂溶液包括萃取剂和稀释剂,所述萃取剂与所述稀释剂的体积比范围为1:3至1:4。
7.如权利要求6所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,所述萃取剂为三辛胺、铜萃取剂H973、铜萃取剂N910、铜萃取剂N902中的至少一种;
和/或,所述稀释剂为煤油或四氯化碳。
8.如权利要求1至7中任一项所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,采用萃取剂溶液对酸性蚀刻废液进行萃取操作,静置分层后得到油相的步骤中,还包括:静置分层后得到水相;
静置分层后得到水相的步骤之后,还包括:
将水相经过组分调配后循环至蚀刻工序中。
9.如权利要求1至7中任一项所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,采用含有草酸根离子的溶液对所述油相进行反萃取操作,得到草酸铜的步骤中,包括:
采用含有草酸根离子的溶液对所述油相进行反萃取操作,并依次经过离心过滤、洗涤及烘干操作,得到草酸铜粉体。
10.如权利要求9所述的酸性蚀刻废液的回收利用方法,其特征在于,采用含有草酸根离子的溶液对所述油相进行反萃取操作,并依次经过离心过滤、洗涤及烘干操作,得到草酸铜粉体的步骤之后,还包括:
对所述草酸铜粉体进行高温焙烧,得到氧化铜粉。
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