[发明专利]一种单间隔柜体并联真空检漏装置及其方法

权利要求书

1.一种单间隔柜体并联真空检漏装置，其特征在于，包括真空箱、主管路和单间隔柜体；

所述主管路伸入真空箱，引出若干并联管路；

所述主管路和所述真空箱之间密封连接；

每个所述并联管路的端头分别连接单间隔柜体；

不连接所述单间隔柜体的端头进行闭锁。

2.根据权利要求1所述的单间隔柜体并联真空检漏装置，其特征在于，

每个所述并联管路的端头分别设有电磁阀，用于连接单间隔柜体；

不连接所述单间隔柜体的端头通过对应的所述电磁阀进行闭锁。

3.根据权利要求1所述的单间隔柜体并联真空检漏装置，其特征在于，

每个所述并联管路的端头分别设有自封阀，用于连接单间隔柜体；

不连接所述单间隔柜体的端头通过对应的所述自封阀进行闭锁。

4.根据权利要求1所述的单间隔柜体并联真空检漏装置，其特征在于，还包括真空压力表；

所述真空压力表设置在所述真空箱内。

5.根据权利要求1所述的单间隔柜体并联真空检漏装置，其特征在于，所述主管路的进气口端连接氦气恒定排气装置；

所述氦气恒定排气装置包括氦气存储装置、固定在所述氦气存储装置出口的恒压装置以及抽气装置。

6.一种应用如权利要求1-5任一项所述的装置进行单间隔柜体并联真空检漏的方法，其特征在于，包括：

将若干单间隔柜体并联放入真空箱；

进行大漏检测；

进行微漏检测；

打开真空箱，完成检测。

7.根据权利要求6所述的单间隔柜体并联真空检漏的方法，其特征在于，所述将若干单间隔柜体并联送入真空箱，包括：

打开真空箱门，将并排放置好的单间隔柜体送入真空箱；

将真空箱内的各个端头与各柜体的接口逐一连接好，不连接柜体的端头通过对应的电磁阀和自封阀进行闭锁。

8.根据权利要求6所述的单间隔柜体并联真空检漏的方法，其特征在于，所述进行大漏检测，包括：

关闭真空箱门，抽真空；

柜体内充入氦气，进行大漏检测；

若大漏检测不通过，则报警，放气，检测中止；

若大漏检测通过，则柜体内抽真空，氦气本底抑零，准备进行微漏检测。

9.根据权利要求6所述的单间隔柜体并联真空检漏的方法，其特征在于，所述进行微漏检测，包括：

柜体内充入氦气，进行微漏检测；

若微漏检测不通过，则报警，回收氦气，检测中止；

若微漏检测通过，则准备打开真空箱，完成检测。

10.根据权利要求6所述的单间隔柜体并联真空检漏的方法，其特征在于，所述打开真空箱，完成检测，包括：

向柜体内充入工作气体；

回收氦气；

打开真空箱，完成检测。