[发明专利]具有模拟和数字检测器的射频功率发生器

权利要求书

1.一种射频(RF)功率发生器(10)，其包括：

输出端，其被配置为输出射频功率信号；

信号发生器(16)，其用于生成射频输入信号；

射频功率级(12)，其接收所述射频输入信号并在其输出端处生成放大的射频功率信号；

至少一个采样器(14)，其被配置为对所述射频功率级(12)的输出端处的射频功率信号进行采样；

控制器(18)，其包括数字控制部分(20)和模拟控制部分(22)；

在所述至少一个采样器(14)和所述控制器(18)之间的模拟反馈路径(F_A)，该模拟反馈路径使来自所述至少一个采样器(14)的信号的模拟信号表示能够被提供给所述控制器(18)；以及

在所述至少一个采样器(14)和所述控制器(18)之间的数字反馈路径(F_D)，该数字反馈路径使来自所述至少一个采样器(14)的信号的数字信号表示能够被提供给所述控制器(18)；

其中，所述控制器(18)被配置为基于所述模拟信号表示和/或所述数字信号表示将所述射频功率发生器的输出端处的所述射频功率信号从第一状态调整为第二状态，

其特征在于，

所述控制器(18)的模拟控制部分(22)被配置为绕过或越过所述数字控制部分(20)。

2.根据权利要求1所述的射频功率发生器(10)，

其中，所述至少一个采样器(14)包括级联连接至所述射频功率级(12)的输出端的第一采样器和第二采样器，其中所述第一采样器为所述数字反馈路径(F_D)提供预数字化信号，而所述第二采样器将来自所述至少一个采样器(14)的所述模拟信号表示提供给所述模拟反馈路径(F_A)。

3.根据权利要求1所述的射频功率发生器(10)，

其中，所述至少一个采样器(14)包括连接至所述射频功率级(12)的输出端的第一采样器，并且所述射频功率发生器(10)包括连接至所述第一采样器的输出端的分离器(14_C2，14_C3)，其中所述分离器(14_C2，14_C3)被配置为对来自所述第一采样器的信号进行分离，并为所述数字反馈路径(F_D)提供预数字化信号，并向所述模拟反馈路径(F_A)提供所述模拟信号表示。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的射频功率发生器(10)，

其中，所述至少一个采样器(14)被配置为向所述模拟反馈路径(F_A)和/或所述数字反馈路径(F_D)提供正向射频信号和反射射频信号。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的射频功率发生器(10)，

其中，所述至少一个采样器(14)包括至少一个定向耦合器或至少一个VI探针。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的射频功率发生器(10)，

其中，所述数字反馈路径(F_D)包括被配置为生成来自所述至少一个采样器(14)的信号的所述数字信号表示的至少一个模数转换器。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的射频功率发生器(10)，

其中，所述控制器(18)的所述数字控制部分(20)被配置为获取所述数字信号表示，并基于所述数字信号表示来调整所述射频功率级(12)的射频输入信号和/或由连接至所述射频功率发生器(10)的电源提供的DC电源电压电平。

8.根据权利要求6所述的射频功率发生器(10)，

其中，所述至少一个模数转换器被配置为以由所述信号发生器(16)生成的所述射频输入信号的每个频率周期至少两个样本对来自所述至少一个采样器(14)的信号进行过采样。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的射频功率发生器(10)，其还包括被配置为控制所述射频输入信号的数模转换器。