[发明专利]一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔

权利要求书

1.一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔，其特征在于，包括纤芯、上包层和下包层，所述纤芯置于下包层上，所述上包层将纤芯覆盖并与下包层连接，所述纤芯采用硫系材料制成，所述上包层和下包层采用折射率低于2.1的材料制成。

2.根据权利要求1所述一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔，其特征在于，所述纤芯的宽度范围为600nm～3000nm，所述纤芯的高度范围为500nm～1000nm。

3.根据权利要求2所述一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔，其特征在于，所述纤芯包括微环波导和耦合直波导，所述微环波导形状为圆环状，所述耦合直波导形状为长方体。

4.根据权利要求3所述一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔，其特征在于，所述下包层上还设有基底片，所述基底片与微环波导和耦合直波导连接。

5.根据权利要求4所述一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔，其特征在于，所述基底片包括但不限于硅片、蓝宝石片和二氧化硅片。

6.根据权利要求5所述一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔，其特征在于，所述微环波导的半径为20μm～500μm。

7.根据权利要求6所述一种用于产生光学频率梳的片上硫系微环谐振腔，其特征在于，所述上包层采用的材料包括但不限于二氧化硅和环氧树脂，所述下包层采用的材料包括但不限于二氧化硅和氟化镁。