[发明专利]一种高效太阳能PERC-SE电池的氧化工艺在审
| 申请号： | 202010890056.4 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112054091A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 刘娟;钱俊;乐雄英;杨灼坚 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 太阳能 perc se 电池 氧化 工艺 | ||
1.一种高效太阳能PERC-SE电池的氧化工艺，其特征在于，采用管式低压氧化炉制备，包括如下步骤：
步骤一，开门：将激光掺杂后的硅片于载舟装片，装片结束后放置于炉桨上准备进舟工艺，炉内通入一定流量的氮气，炉门打开；
步骤二，进舟：炉门打开，开始运行，炉桨将载舟送入炉腔；
步骤三，抽压：进舟结束，关闭炉门，在氧化炉管中保持载舟温度一定，同时使炉管内保持在低压状态，持续一段时间；
步骤四，制备氧化层：在步骤三的温度、压强条件下，在氧化炉管中通入一定量的氮气和氧气，进行氧化层的制备，持续一段时间；
步骤五，回压：将氧化炉管中温度降低，通入一定量的氮气，使压力回复到常压状态；
步骤六，出舟：炉门打开，炉桨将载舟拉出，工艺结束，炉门关闭。
2.根据权利要求1所述的高效太阳能PERC-SE电池的氧化工艺，其特征在于，步骤一中通入氮气的流量为500-2000sccm。
3.根据权利要求1所述的高效太阳能PERC-SE电池的氧化工艺，其特征在于，步骤三中载舟温度保持在650-800℃范围之间，压力范围保持为100-400mT，时间为100-500s。
4.根据权利要求1所述的高效太阳能PERC-SE电池的氧化工艺，其特征在于，步骤四中通入氮气的流量为500-3000sccm，通入氧气的流量为5000-10000sccm，持续时间在100-500s。
5.根据权利要求1所述的高效太阳能PERC-SE电池的氧化工艺，其特征在于，步骤五中温度降低至600-750℃，通入氮气的流量为5000-15000sccm。
6.根据权利要求1所述的高效太阳能PERC-SE电池的氧化工艺，其特征在于，在出舟时对氧化炉管中通过氮气，流量为8000sccm。
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