[发明专利]一种高精度晶圆表面缺陷检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种高精度晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，包括：组合光源、成像装置和计算机，所述组合光源包括点光源、环形光源和背光源，所述成像装置的镜头安装处设有高精度同轴镜头，所述同轴镜头内设有分光镜，所述同轴镜头一侧开设有一垂直于其光轴的通光孔，所述点光源通过所述通光孔连接到所述同轴镜头上，所述环形光源设置在所述同轴镜头与晶圆之间，环形光源中心与同轴镜头中心一致，环形光源的光线以一定的角度均向内斜射形成圆形光环，所述背光源设置在晶圆的背面，所述成像装置连接有用于图像分析并判定晶圆缺陷类型的计算机。

2.如权利要求1所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于：所述点光源包括红色点光源和蓝色点光源，且该两种光源可进行相互切换点亮，所述环形光源包括红色环光、蓝色环光和紫外环光光源，且该三种光源可选择性点亮一种，所述背光源为蓝色背光源。

3.如权利要求1所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于：所述成像装置为高精度相机。

4.如权利要求1所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于：所述成像装置连接有计算机，所述计算机用于对所述成像装置获取的图像进行分析，同时判定晶圆表面的缺陷类型，并通过计算机显示出来。

5.一种高精度晶圆表面缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：提供带有组合光源和成像装置的高精度晶圆表面缺陷检测装置；

S2：将带有晶圆的产品放置在高精度晶圆表面缺陷检测装置的检测处，控制组合光源选择性发光，使得光源照射在产品需要检测的部位；

S3：控制成像装置获取产品在组合光源发出的光照下的检测部位的图像，计算机获取图像后分析、判断；

S4：移动产品使所述组合光源发射的光照在产品另一个要检测的部位，并重复上步操作。

6.如权利要求5所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测方法，其特征在于：步骤S1中，所述组合光源包括可进行红光、蓝光相互切换的点光源，具有红色环光、蓝色环光和紫外环光且可选择性亮一种光的环形光源，蓝色的背光源。

7.如权利要求5所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测方法，其特征在于：步骤S2中，控制点亮所述蓝色背光源，然后所述成像装置获取检测部位的图像，再熄灭光源。

8.如权利要求5所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测方法，其特征在于：步骤S2中，控制点亮所述点光源其中一种颜色的光并进行切换，然后成像装置分别获取切换点光源下检测部位的图像，再熄灭光源。

9.如权利要求5所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测方法，其特征在于：步骤S2中，控制点亮所述环形光源中红色或蓝色环光并进行切换，然后成像装置分别获取切换环形光源下检测部位的图像，再熄灭光源。

10.如权利要求5所述的一种高精度晶圆表面缺陷检测方法，其特征在于：步骤S2中，控制点亮所述蓝色背光源，同时控制点亮环形光源中紫外环光，然后成像装置获取蓝色背光源配合紫外环形光源下检测部位的图像，再熄灭光源。