[发明专利]一种铟砷锑组分确定方法及装置在审
| 申请号： | 202010875008.8 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112014359A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 申晨;周朋;晋舜国 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/3563;G01N21/45 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铟砷锑 组分 确定 方法 装置 | ||
1.一种铟砷锑组分确定方法，其特征在于，包括：
将预先装入样品的样品室降温至预设温度；
将预设功率下激光器发出的激光入射至预设温度的样品上；
基于获取的所述样品的光致发光信号确定对应的组分数据。
2.如权利要求1所述的铟砷锑组分确定方法，其特征在于，将预先装入样品的样品室抽真空后降温至预设温度之前，还包括：
通过预设方法在衬底上生长InAsxSb1-x材料，以获得所述样品。
3.如权利要求1所述的铟砷锑组分确定方法，其特征在于，将预设功率下激光器发出的激光入射至预设温度的样品上，包括：
开启预设功率下的激光器发出连续激光；
将所述连续激光通过斩波器调制成交变信号后入射到所述预设温度的样品上。
4.如权利要求3所述的铟砷锑组分确定方法，其特征在于，基于获取的所述样品的光致发光信号确定对应的组分数据，包括：
通过预先抽真空后的干涉仪将所述样品产生的光致发光信号传入锁相放大器进行处理，以获得光致发光信号谱图。
5.如权利要求4所述的铟砷锑组分确定方法，其特征在于，基于获取的所述样品的光致发光信号确定对应的组分数据，还包括：
根据所述光致发光信号谱图确定目标材料的禁带宽度；
基于所述目标材料的禁带宽度确定对应的组分数据。
6.如权利要求5所述铟砷锑组分确定方法，其特征在于，基于所述目标材料的禁带宽度确定对应的组分数据，包括：
通过所述目标材料的禁带宽度与所述预设温度以及组分数据之间的数学关系确定对应的组分数据。
7.一种铟砷锑组分确定装置，其特征在于，包括：
控温单元，用于将预先装入样品的样品室降温至预设温度；
激光器，用于在预设功率下发出的激光入射至预设温度的样品上；
数据处理单元，用于基于获取的所述样品的光致发光信号确定对应的组分数据。
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