[发明专利]一种电子级TFT光阻剥离液的制备工艺有效
| 申请号： | 202010862764.7 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111999994B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 陈重佑;陈少骏;邱建铭;吴俊贤;骆彦成;吴全贵;林德荣;任建业 | 申请（专利权）人： | 福建天甫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 tft 剥离 制备 工艺 | ||
1.一种电子级TFT光阻剥离液的制备工艺，其特征在于：由剥离液的原料混合后过滤即得；所述原料按重量份数计由：有机胺为5000.5份、二甲基亚砜700.07份、二乙二醇单丁醚6500.65份、N-甲基吡咯烷酮3350.34份、二甲基乙酰胺4000.4份、四甲基氢氧化铵200.02份以及羟胺250.03份组成；
其中，所述制备工艺具体包括：
(1)将所述N-甲基吡咯烷酮和水加入混配槽中进行第一次搅拌，得到N-甲基吡咯烷酮溶液；
(2)再向所述N-甲基吡咯烷酮溶液中依次加入一半量的所述有机胺、所述二甲基亚砜、所述二乙二醇单丁醚、所述二甲基乙酰胺、所述四甲基氢氧化铵以及所述羟胺，第一次升温到30-45℃，第二次搅拌，得到预混液；再向所述预混液中依次加入剩余的所述有机胺、所述二甲基亚砜、所述二乙二醇单丁醚、所述二甲基乙酰胺、所述四甲基氢氧化铵以及所述羟胺，第二次升温到50-55℃，第三次搅拌，得到混合液；
(3)过滤所述混合液，得到所述剥离液。
2.根据权利要求1所述的电子级TFT光阻剥离液的制备工艺，其特征在于：所述有机胺包括二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的电子级TFT光阻剥离液的制备工艺，其特征在于：所述有机胺的浓度为72％。
4.根据权利要求1所述的电子级TFT光阻剥离液的制备工艺，其特征在于：所述N-甲基吡咯烷酮的浓度为95％。
5.根据权利要求1所述的电子级TFT光阻剥离液的制备工艺，其特征在于：步骤(1)中，第一次搅拌的时间为18-22min，第一次搅拌的速度为66-67转/min。
6.根据权利要求1所述的电子级TFT光阻剥离液的制备工艺，其特征在于：步骤(2)中，第二次搅拌的速度为72-74转/min，第二次搅拌的时间为24-25min。
7.根据权利要求1所述的电子级TFT光阻剥离液的制备工艺，其特征在于：步骤(2)中，第三次搅拌的速度为76-78转/min，第三次搅拌的时间为18-22min。
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