[发明专利]加工液循环装置

权利要求书

1.一种加工液循环装置，其中，

该加工液循环装置包含：

废液容器，其积存从对被加工物进行加工的加工装置排出的包含加工屑在内的加工废液；

废液泵，其将加工废液从该废液容器汲上来；

过滤器单元，其将利用该废液泵汲上来的加工废液的加工屑去除而精制清水；

清水容器，其积存该清水；

清水泵，其将清水从该清水容器汲上来；

紫外线照射单元，其对该清水照射紫外线；

离子交换树脂单元，其使照射了紫外线的该清水通过离子交换树脂而精制纯水；以及

清洗单元，其对从该废液容器至该清水泵为止的通水路径进行清洗，

该紫外线照射单元具有：

紫外线灯；

石英玻璃管，其形成围绕该紫外线灯的外侧的第1空间；

框体，其形成围绕该石英玻璃管的外侧的第2空间；

气体入口，其将气体导入至该第1空间；

气体出口，其将气体从该第1空间排出；

水入口，其将清水导入至该第2空间；以及

水出口，其将清水从该第2空间排出，

该清洗单元具有：

氧投入单元，其使含氧气体进入至该第1空间；

第1配管，其将该气体出口与该清水容器连通；以及

第2配管，其将该水出口与该废液容器连通，

将包含对进入至该第1空间的含氧气体照射紫外线而生成的臭氧在内的气体混合至该清水容器的清水中而生成臭氧水，将该臭氧水导入至该废液容器，从而按照该废液泵、该过滤器单元、该清水容器、该清水泵、该紫外线照射单元、该第2配管、该废液容器的顺序循环而进行清洗。

2.根据权利要求1所述的加工液循环装置，其中，

该过滤器单元具有：

过滤器，其构成为筒状，在中央具有投入加工废液的投入口，从侧面排出清水；

托盘，其载置该过滤器；以及

过滤器箱，其对该过滤器和该托盘进行收纳，

该清洗单元还具有气体投入单元，该气体投入单元吸引该过滤器箱内的气体而投入至该第1空间，吸引该废液容器内的气体而投入至该第1空间，吸引该清水容器内的气体而投入至该第1空间。

3.根据权利要求1或2所述的加工液循环装置，其中，

该加工液循环装置还包含将惰性气体投入至该第1空间的惰性气体投入单元，

在从该紫外线照射单元向该离子交换树脂单元输送清水时，使惰性气体充满该第1空间。