[发明专利]用于表面检查的成像系统

权利要求书

1.一种成像系统，包括：

非相干光源，其发射非相干光信号；

准直透镜，其被定位成接收非相干光信号，所述准直透镜发射准直光信号；

传感器，其具有限定传感器透镜平面的传感器透镜，所述传感器透镜平面被定位为大体上垂直于由非相干光源发射的非相干光信号，所述传感器被定位成接收准直光信号的反射；以及

偏振器，其被功能性地设置在非相干光源与传感器之间。

2.根据权利要求1所述的成像系统，进一步包括显示模块，所述显示模块具有限定评估表面平面的评估表面，所述显示模块被定位成使得评估表面平面大体上垂直于准直光信号。

3.根据权利要求2所述的成像系统，其中，所述传感器透镜平面大体上平行于评估表面平面，并且非相干光信号大体上平行于评估表面平面。

4.根据权利要求2所述的成像系统，其中，所述传感器透镜平面大体上垂直于评估表面平面，并且非相干光信号大体上垂直于评估表面平面。

5.根据权利要求2所述的成像系统，其中，所述评估表面是大体上平面的表面，由此由传感器所感测的图像包括指示评估表面的非平面性的对比度。

6.根据权利要求2所述的成像系统，其中，所述评估表面是弯曲表面，所述成像系统进一步包括具有对应于弯曲表面的曲率的圆柱形透镜，由此由传感器所感测的图像包括指示评估表面的曲率中的缺陷的对比度。

7.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述传感器透镜包括孔径。

8.根据权利要求1所述的成像系统，进一步包括：分束器，其被定位成将非相干光信号拆分成第一光信号和第二光信号，第一光信号相对于第二光信号成角度。

9.根据权利要求8所述的成像系统，其中，所述偏振器包括：

设置在非相干光源与分束器之间的第一线性偏振器，其中，所述分束器包括非偏振分束器；以及

设置在传感器与分束器之间的第二线性偏振器。

10.根据权利要求8所述的成像系统，其中，所述分束器和所述偏振器被组合为偏振分束器。

11.根据权利要求10所述的成像系统，进一步包括设置在偏振分束器与传感器之间的收集透镜。

12.根据权利要求11所述的成像系统，其中，所述传感器透镜包括孔径和刀口中的一个。

13.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述非相干光信号由发光二极管发射。

14.一种用于对评估表面中的缺陷进行评估的方法，所述方法包括：

发射非相干光信号；

使非相干光信号传过分束器以产生第一光信号和第二光信号，第一光信号相对于第二光信号成角度；

使至少一部分非相干光信号传过准直透镜以产生准直光信号；

在评估表面上反射准直光信号以产生反射光信号，评估表面限定大体上垂直于准直光信号的评估表面平面；以及

在传感器上感测反射光信号以产生感测图像。

15.根据权利要求14所述的方法，进一步包括：评估感测图像中的对比度，以确定评估表面的表面不规则性的存在和量值。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述评估表面是弯曲表面，所述方法进一步包括：

使准直光信号传过圆柱形透镜以产生经修改的准直光信号，

反射的步骤包括在弯曲的评估表面上反射经修改的准直光信号，以及

评估对比度的步骤包括确定弯曲的评估表面的曲率中缺陷的存在和程度。