[发明专利]一种在高低温环境下检测元件参数的装置及其使用方法

权利要求书

1.一种在高低温环境下检测元件参数的装置，包括温控探针台本体，所述温控探针台本体包括基台(1)、载样台(3)和探针组件(13)，其特征在于：所述基台(1)的内部设置有装饰板(4)，所述载样台(3)设置在装饰板(4)的中部，所述探针组件(13)等距离分布在载样台(3)的外围，所述基台(1)的右下侧、右上侧、前后侧壁均设置有循环水接头(5)，所述基台(1)内部设置有两个冷却管路，四个所述循环水接头(5)分别连接在两个冷却管路的两端，所述基台(1)的左侧壁下侧和右侧壁上侧均设置有气管接头(6)，所述基台(1)的前后侧壁左侧均设置有BNC接头(7)，所述基台(1)的右侧壁中部设置有导线板(2)和温度控制接口(8)，所述装饰板(4)的上面右侧设置有温度传感器(10)，所述基台(1)的上面设置有盖板(11)，所述盖板(11)的中部设置有视窗(12)；

该在高低温环境下检测元件参数的装置还包括：检测系统、数据采集系统、循环冷却系统、供气系统/真空系统、液氮罐和温度控制系统；

所述检测系统通过数据线与BNC接头(7)连接；

所述数据采集系统与检测系统和温度控制系统建立连接；

所述温度控制系统与温度控制接口(8)连接；

所述循环冷却系统与循环水接头(5)通过管道连接；

所述供气系统/真空系统与气管接头(6)连接；

所述载样台(3)内置加热棒和冷却口，冷却口与液氮罐连接；

通过加热棒加热对载样台(3)升温，或者通过液氮罐通入液氮对载样台(3)降温，通过阀门、调频或者调压方式控制液氮流速，与加热棒配合，调节温度。

2.根据权利要求1所述的一种在高低温环境下检测元件参数的装置，其特征在于：所述探针组件(13)设置有4-6个。

3.根据权利要求1所述的一种在高低温环境下检测元件参数的装置，其特征在于：所述基台(1)的上下表面右侧均设置有固定件(9)。

4.一种如权利要求1-3任意一项所述的在高低温环境下检测元件参数的装置的使用方法，其特征在于：该在高低温环境下检测元件参数的装置的使用方法具体如下：

打开盖板(11)，将被测元件放置在载样台(3)上表面，调整探针组件(13)，使探针组件(13)压在被测元件上表面，调整好温度传感器(10)的位置并压紧，安装盖板(11)；

供气系统的工作过程为：打开液氮罐的氮气输送阀，输送氮气进入温控探针台腔体半分钟，排净内部空气，开始温度控制系统操作，随后关闭两个气管接头(6)维持腔体内部气氛，直至检测结束；

真空系统的工作过程为：打开真空系统的真空泵控制开关，观察真空表，检查是否漏气，待真空表读取值到-0.95Mpa后，开始温度控制系统操作，保持真空泵工作状态直至检测结束；

循环冷却系统的工作过程为：温控探针台本体的四个循环水接头(5)中两个循环水接头(5)由软管串联，另两个循环水接头(5)一个作为循环冷却水进口一个作为循环冷却水出口，通过软管连接，接入循环冷却水；

升温控制系统的工作过程为：由上位机控制温控表，发出信号加热继电器打开，从而加热棒开始给载样台(3)加热，以线性升温的模式升至预定温度值，随后保温在当前值；

降温控制系统的工作过程为：由上位机控制，发出信号打开液氮罐的液氮管输送泵，从而液氮开始给载样台(3)降温，以线性降温的模式降至预定温度值，随后保温在当前值；

温度控制系统的工作过程为：由上位机控制，既可以快速到达并保持在目标温度，也可以以一定变温速度到达目标温度；

载样台(3)达到预期温度后，打开检测系统，通过检测仪器检测并读取被测元件在设定温度下的参数；

载样台(3)达到预期温度后，打开检测系统，给检测元件电信号，通过检测仪器检测并读取被测元件在设定温度下的参数。