[发明专利]一种掩模板清洗机的夹持机构

说明书

本发明公开了一种掩模板清洗机的夹持机构，包括底板和垫板，本发明通过设置了调节机构于底板底部，通过向前推动手轮带动齿条移动，并且齿条带动传动齿轮、调速齿轮和螺杆转动，此时移动块在螺杆的带动下进行垂直向下移动，同时移动块带动传动块和转块向下移动，而转块则通过拉绳拉动滑块和中空夹板向内移动进行调节，同时通过卡杆进入到手轮右侧相对应的卡槽内实现对中空夹持板的固定，达到了更加快速准确的将夹持机构上的夹持板进行调节，为工作带来方便的有益效果。

技术领域

本发明涉及半导体设备机构相关领域，具体是一种掩模板清洗机的夹持机构。

背景技术

目前，掩模板清洗机的设备主要包括主轴机构、旋转机构、夹持机构、腔体、DIW水系统、高压水系统、兆声波系统、毛刷清洗系统、有机溶剂清洗系统、气液分离系统、排废系统等，清洗时将掩模板装在夹持机构上，在主轴带动下旋转，同时各清洗系统依次对其进行清洗。

当使用夹持机构将掩模板进行夹持时，由于各种型号的掩模板外径不一，使得在夹持不同大小的掩模板时需要对夹持机构进行调节，而由于夹持机构上的夹持板通常为多个设置，使得需要逐个进行调节，降低了工作效率，且调节过程准确度较低。

发明内容

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种掩模板清洗机的夹持机构。

本发明是这样实现的，构造一种掩模板清洗机的夹持机构，该装置包括底板、垫板和调节机构，所述底板顶端面四端设置有中空夹持板，且底板顶端面中部和底端面四端分别安装有垫板和支架，所述调节机构设置于底板底部，所述调节机构包括滑块、第一弹簧、滑槽、外壳、齿条、固定机构、传动齿轮、调速齿轮、螺杆、移动块、传动块、转块和拉绳，所述滑块紧固于中空夹持板底端面中部，且滑块滑动安装于底板顶端面开设的滑槽内侧，所述第一弹簧两端分别固定连接于滑槽内侧左端和滑块左端面，所述外壳锁固于底板底端面中部，所述齿条通过固定机构紧固于外壳内侧底端，所述传动齿轮底端面中部通过转轴与外壳内侧底端中部转动连接，且传动齿轮左右端面分别与调速齿轮右端面和齿条左端面相互啮合，所述螺杆外侧底端紧固于调速齿轮内圈，且螺杆外侧顶端与外壳内侧顶端面左端转动连接，所述移动块通过底端面左端开设的螺孔与螺杆侧表面螺纹连接，所述传动块安装于移动块右端面，且传动块垂直贯穿于外壳内侧顶端面右端，所述转块铰接于传动块外侧顶端开设的转槽内侧，所述拉绳两端分别紧固于滑块外侧底端和转块侧表面。

优选的，所述固定机构包括手轮、推杆、连接块、滑动架、第二弹簧和卡杆，所述手轮穿过外壳后端面底部后紧固于齿条后端面中部，所述推杆贯穿于手轮后端面右端和外壳后端面底部，且推杆外侧前端贴合于连接块左端面底部，所述连接块滑动安装于外壳内侧后端锁固的滑动架上，所述第二弹簧两端分别固定连接于连接块右端面和滑动架内侧右端面，所述卡杆紧固于连接块左端面中部，且述卡杆活动伸入于手轮右端面开设的卡槽内侧。

优选的，所述转块设置有四个于传动块外侧顶部，且传动块外侧顶部设置有相对应的转槽。

优选的，所述传动齿轮外径为调速齿轮外径的两倍，且传动齿轮和调速齿轮外表面涂覆有润滑油。

优选的，所述第一弹簧设置有两个，且两个分别位于滑块左端和齿条前端。

优选的，所述滑槽内侧为X字型，且滑槽为底板顶部的对角线进行延伸。

优选的，所述连接块左端面底部为由上而下渐缩的斜面状，且斜面与连接块底端面层150°夹角。

优选的，所述手轮右端面等间距开设有两个以上相对应于卡杆的卡槽，且所有卡槽位于同一垂直端面上。

优选的，所述拉绳材质为尼龙材质。

优选的，所述传动齿轮材质为碳钢材质。

本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种掩模板清洗机的夹持机构，与同类型设备相比，具有如下改进：