[发明专利]一种掩模板清洗机的夹持机构在审
申请号: | 202010761189.1 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN111880369A | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 张存 | 申请(专利权)人: | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 |
主分类号: | G03F1/82 | 分类号: | G03F1/82 |
代理公司: | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 吴圳添 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模板 清洗 夹持 机构 | ||
1.一种掩模板清洗机的夹持机构,包括底板(1)、垫板(2)和支架(4),所述底板(1)顶端面四端设置有中空夹持板(3),且所述底板(1)顶端面中部和底端面四端分别安装有所述垫板(2)和所述支架(4);
其特征在于:还包括调节机构(5),所述调节机构(5)设置于底板(1)底部,所述调节机构(5)包括滑块(51)、第一弹簧(52)、滑槽(53)、外壳(54)、齿条(55)、固定机构(56)、传动齿轮(57)、调速齿轮(58)和螺杆(59);所述滑块(51)紧固于所述中空夹持板(3)底端面中部,且所述滑块(51)滑动安装于所述底板(1)顶端面开设的所述滑槽(53)内侧,所述第一弹簧(52)两端分别固定连接于所述滑槽(53)内侧左端和所述滑块(51)左端面,所述外壳(54)锁固于所述底板(1)底端面中部,所述齿条(55)通过所述固定机构(56)紧固于所述外壳(54)内侧底端,所述传动齿轮(57)底端面中部通过转轴与所述外壳(54)内侧底端中部转动连接,且所述传动齿轮(57)左右端面分别与所述调速齿轮(58)右端面和所述齿条(55)左端面相互啮合,所述螺杆(59)外侧底端紧固于所述调速齿轮(58)内圈,且所述螺杆(59)外侧顶端与所述外壳(54)内侧顶端面左端转动连接。
2.根据权利要求1所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述调节机构(5)还包括移动块(510)、传动块(511)、转块(512)和拉绳(513);所述移动块(510)通过底端面左端开设的螺孔与所述螺杆(59)侧表面螺纹连接,所述传动块(511)安装于移动块(510)右端面,且所述传动块(511)垂直贯穿于所述外壳(54)内侧顶端面右端,所述转块(512)铰接于所述传动块(511)外侧顶端开设的转槽内侧,所述拉绳(513)两端分别紧固于所述滑块(51)外侧底端和所述转块(512)侧表面。
3.根据权利要求2所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述固定机构(56)包括手轮(561)、推杆(562)、连接块(563)、滑动架(564)、第二弹簧(565)和卡杆(566),所述手轮(561)穿过所述外壳(54)后端面底部后紧固于所述齿条(55)后端面中部,所述推杆(562)贯穿于所述手轮(561)后端面右端和所述外壳(54)后端面底部,且所述推杆(562)外侧前端贴合于所述连接块(563)左端面底部。
4.根据权利要求3所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述连接块(563)滑动安装于所述外壳(54)内侧后端锁固的所述滑动架(564)上,所述第二弹簧(565)两端分别固定连接于所述连接块(563)右端面和所述滑动架(564)内侧右端面,所述卡杆(566)紧固于连接块(563)左端面中部,且所述卡杆(566)活动伸入于所述手轮(561)右端面开设的卡槽内侧。
5.根据权利要求4所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述转块(512)设置有四个于所述传动块(511)外侧顶部,且所述传动块(511)外侧顶部设置有相对应的转槽。
6.根据权利要求4所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述传动齿轮(57)外径为所述调速齿轮(58)外径的两倍,且所述传动齿轮(57)和所述调速齿轮(58)外表面涂覆有润滑油。
7.根据权利要求4所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述第一弹簧(52)设置有两个,且两个分别位于所述滑块(51)左端和所述齿条(55)前端。
8.根据权利要求4所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述滑槽(53)内侧为X字型,且所述滑槽(53)为所述底板(1)顶部的对角线进行延伸。
9.根据权利要求5所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述连接块(563)左端面底部为由上而下渐缩的斜面状,且斜面与所述连接块(563)底端面层150°夹角。
10.根据权利要求5所述一种掩模板清洗机的夹持机构,其特征在于:所述手轮(561)右端面等间距开设有两个以上相对应于所述卡杆(566)的卡槽,且所有卡槽位于同一垂直端面上。
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