[发明专利]一种单细胞介电检测芯片

权利要求书

1.一种单细胞介电检测芯片，其特征在于：所述检测芯片通过多层结构键合而成，自上而下包括单细胞分选结构层(1)、单细胞分选微阀结构层(2)和介电检测传感器(3)；所述单细胞分选结构层(1)包括互相连通的细胞进样口(5)、缓冲液进样口(6)、过滤结构(7)、多个单细胞分选结构单元以及样品出样口(14)，所述单细胞分选结构单元包括单细胞分选结构(201)和释放结构(202)；所述单细胞分选微阀结构层(2)包括多个与细胞进样口(5)、缓冲液进样口(6)以及单细胞分选结构单元中的释放结构(202)的位置相对应的微阀；所述介电检测传感器(3)包括传感区域(4)，所述单细胞分选结构单元中的单细胞分选结构(201)的位置和传感区域(4)相对应。

2.根据权利要求1所述的一种单细胞介电检测芯片，其特征在于：所述细胞进样口(5)、缓冲液进样口(6)、过滤结构(7)、多个单细胞分选结构单元以及样品出样口(14)通过微流通道连通。

3.根据权利要求1所述的一种单细胞介电检测芯片，其特征在于：所述单细胞分选结构(201)包括单细胞分选腔(20)、液体流动通道(21)和细胞释放通道(22)。

4.根据权利要求1所述的一种单细胞介电检测芯片，其特征在于：所述介电检测传感器(3)为叉指电极传感器(23)或者无线射频芯片(24)。

5.根据权利要求4所述的一种单细胞介电检测芯片，其特征在于：所述无线射频芯片(24)包括叉指电极(25)和无线感应线圈(26)；所述叉指电极(25)和无线感应线圈(26)通过金属桥(28)连接；金属桥(28)和无线感应线圈(26)之间还设有绝缘层(27)。

6.根据权利要求1所述的一种单细胞介电检测芯片，其特征在于：所述单细胞分选结构层(1)通过光刻和深反应离子刻蚀制备。

7.根据权利要求1所述的一种单细胞介电检测芯片，其特征在于：所述单细胞分选微阀结构层(2)通过在硅片表面进行SU8光刻胶的光刻制备。