[发明专利]一种分子泵动平衡调整装置及调整方法

说明书

本发明提供了一种分子泵动平衡调整装置及调整方法，包括磁悬浮电机，磁悬浮电机一侧安装真空罩，真空罩通过真空管道连接至机械泵，真空罩内部设有叶轮和电磁主轴，磁悬浮电机的主轴连接至电磁主轴一端，电磁主轴另一端安装叶轮，电磁主轴上设有上径向轴承检测位和下径向轴承检测位，叶轮的端部设有第一动平衡加重孔和第二动平衡加重孔，真空罩外部设有检测单元，检测单元用于检测电磁主轴的不平衡量，并将信号传递给上位机。本发明所述的分子泵动平衡调整装置及调整方法，极大的提高了分子泵的动平衡测试效率而且精度高，节省了大量的调试时间。

技术领域

本发明属于真空获得设备领域，尤其是涉及一种分子泵动平衡调整装置的调整方法。

背景技术

分子泵属于高精度精密仪器，是真空获得设备里的高端产品，它的工作原理是通过高速旋转的叶轮定向击打工作环境中的气体分子，使气体分子按设计要求排出真空腔体从而获得洁净的高真空环境。因此分子泵叶轮的转速要求很高，叶轮边缘线速度要达到400m/s以上，同时要求分子泵不能有大幅的振动，需要将泵口的相对振动量控制在0.1μm以内。在这种要求下，分子泵叶轮的动平衡精度一般需要达到G0.4以上。现有的分子泵动平衡方法主要分两种：一种是借用常规的动平衡机，在低速下比如3000rpm时做调整，这种方法操作简单，但是效果不是很理想，因为分子泵的工作转速一般都在20000rpm以上，此时的叶轮状态和低速下的状态不完全一样，所以这种方法的动平衡精度很难达到G0.4，只能勉强使用。另外一种是本机动平衡，需要采用高精度动平衡仪或是磁悬浮分子泵的位移监控软件进行操作，这种方法可以实现高速下动平衡，保证分子泵在额定转速时的动平衡精度，一般都能轻松达到G0.4以上，但是这种方法非常耗时，因为分子泵本身升降速时间很长，一般一次升降速需要20分钟左右，完成一个泵的动平衡差不多要半天时间；操作也是相对复杂，需要来回拆卸泵壳处理叶轮的不平衡质量。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种分子泵动平衡调整装置，以解决分子泵动平衡精度低、操作复杂、耗时长的问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种分子泵动平衡调整装置，包括磁悬浮电机、机械泵、叶轮和电磁主轴，磁悬浮电机一侧安装真空罩，真空罩通过真空管道连接至机械泵，真空罩内部设有叶轮和电磁主轴，磁悬浮电机的主轴连接至电磁主轴一端，电磁主轴另一端安装叶轮，电磁主轴上设有上径向轴承检测位和下径向轴承检测位，叶轮的端部设有第一动平衡加重孔和第二动平衡加重孔，真空罩外部设有检测单元，检测单元用于检测电磁主轴的不平衡质量，并将信号传递给上位机。

进一步的，所述上位机为电脑。

进一步的，所述磁悬浮电机的主轴和磁悬浮电机的壳体之间设有真空密封装置。

进一步的，所述机械泵为前级泵。

进一步的，所述真空管道为波纹管。

进一步的，所述检测单元为电感式位移传感器，电感式位移传感器包括第一电感式位移传感器和第二电感式位移传感器，第一电感式位移传感器对准下径向轴承检测位，第二电感式位移传感器对准上径向轴承检测位。。

相对于现有技术，本发明所述的分子泵动平衡调整装置具有以下优势：

（1）本发明所述的分子泵动平衡调整装置，将叶轮和电磁主轴作为整体进行动平衡调整，既可以实现将叶轮和电磁主轴单独从泵体分离出来整体动平衡，又可以快速实现高速动平衡调整，极大的提高了动平衡效率。

（2）本发明所述的分子泵动平衡调整装置，操作简单，易于批量生产，有利于企业减少人力投入、降低生产成本和减少其他配套资源损耗。

本发明的另一目的在于提出一种分子泵动平衡调整方法，以解决分子泵动平衡精度低、操作复杂、耗时长的问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：