[发明专利]带有膜的玻璃基板及其制造方法

说明书

本发明涉及带有膜的玻璃基板及其制造方法。一种带有膜的玻璃基板，所述带有膜的玻璃基板为依次包含玻璃基板、底涂层和功能性透明膜的带有膜的玻璃基板，其中，所述底涂层从所述玻璃基板侧起依次由SiOxCy层和SiO₂层构成。

技术领域

本发明涉及带有膜的玻璃基板及其制造方法，特别涉及成为用于太阳能电池的透明电极基板或低辐射(Low-E)玻璃的带有膜的玻璃基板。

背景技术

带有膜的玻璃基板由于具有透明性、化学稳定性、高硬度、耐热性、绝缘性、优异的光学性质等性质，因此除了用于作为建筑构件的窗玻璃材料以外，还用于光学部件、电气部件、电子部件等各种领域中。

例如在太阳能电池中，作为在玻璃基板的表面上形成有透明导电膜的透明电极基板，使用带有膜的玻璃基板。另外，在建筑领域中，使用通过在玻璃基板的表面上形成氧化物膜、金属膜而赋予了绝热性、隔热性的低辐射玻璃(Low-E玻璃)。

然而，由于制造太阳能电池时的高温热处理、长时间使用，碱离子从玻璃基板扩散。由此，对于该透明导电膜、金属氧化物膜(以下称为功能性透明膜)，有可能引起透明性的降低、导电性的降低(电阻率的增加)、化学物理耐久性的降低等性能劣化。

因此，在专利文献1中公开了一种导电玻璃，其在含碱玻璃的表面上依次层叠有抑制来自该玻璃的碱扩散的碱阻挡膜、以及导电膜，其特征在于，上述碱阻挡膜为以锡和硅作为主要成分的氧化物膜。

另外，在专利文献2中，同样为了防止碱成分从玻璃板扩散到透明导电膜，公开了作为具有阻挡性能的膜的包含硅、氧和碳的基底膜作为基底膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平06-191894号公报

专利文献2：日本特开2005-029463号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，使用SiO₂作为用于防止碱的扩散的底涂层时，不仅由于与功能性透明膜的折射率之差而引起光的反射从而存在透射率的降低，而且由于该反射，有时玻璃显色而可见。

另外，使用包含硅、氧和碳的SiOxCy作为底涂层时，在放置在制造太阳能电池时的成膜工艺温度、Low-E玻璃的热强化处理等中的高温环境下时，由于耐热性低，因此分解而使碳脱离。由于脱离的碳，功能性透明膜的元素被抽出，因此功能性透明膜的组成发生变化，从而导电性、热辐射性等性能降低。此外，在暴露于更高温度、更长时间等严酷的环境下时，底涂层本身被破坏而剥离。

因此，本发明的目的在于提供一种带有膜的玻璃基板，其能够用作太阳能电池用透明电极基板、Low-E玻璃，所述带有膜的玻璃基板的透射性高、即反射率低，能够自由地控制色调，并且耐热性优异。

用于解决问题的手段

本发明涉及以下的[1]～[6]。

[1]一种带有膜的玻璃基板，其为依次包含玻璃基板、底涂层和功能性透明膜的带有膜的玻璃基板，其中，所述底涂层从所述玻璃基板侧起依次由SiOxCy层和SiO₂层构成。

[2]如上述[1]所述的带有膜的玻璃基板，其中，所述SiOxCy层的厚度为10nm～90nm，并且所述SiO₂层的厚度为10nm～90nm。

[3]如上述[1]或[2]所述的带有膜的玻璃基板，其中，所述功能性透明膜的主要成分为SnO₂。

[4]一种太阳能电池，其中，所述太阳能电池具有上述[1]～[3]中任一项所述的带有膜的玻璃基板作为透明电极基板。