[发明专利]一种电容式高灵敏湿度传感器

权利要求书

1.一种电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于，包括：第一金属平板、第二金属平板、金属连接部、第三金属平板、湿敏材料层、第一固定部、第二固定部，所述第一金属平板、所述第二金属平板、所述第三金属平板平行，所述第一金属平板通过所述金属连接部与所述第二金属平板连接，形成U形结构，所述第三金属平板置于所述U形结构内，所述湿敏材料层置于所述第一金属平板与所述第三金属平板间，所述第一固定部和所述第二固定部置于所述U形结构的外侧，所述第一固定部与所述第一金属平板接触，所述第二固定部与所述第二金属平板接触。

2.如权利要求1所述的电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于：所述湿敏材料层为聚酰亚胺。

3.如权利要求2所述的电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于：在所述第一金属平板和所述湿敏材料层之间设有介质层。

4.如权利要求3所述的电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于：所述第三金属平板的长度大于所述第一金属平板的长度和所述第二金属平板的长度。

5.如权利要求4所述的电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于：所述第二金属平板的长度大于所述第一金属平板的长度。

6.如权利要求1-5任一项所述的电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于：在所述第二金属平板与所述第三金属平板间设有弹性层。

7.如权利要求6所述的电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于：所述弹性层的材料为绝缘材料。

8.如权利要求7所述的电容式高灵敏湿度传感器，其特征在于：所述湿敏材料层为多孔状。