[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

说明书

本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的过滤膜；过滤膜包括固定部以及设置在固定部内部的过滤网；过滤网包括中心部以及环绕中心部设置的分区部；中心部与分区部的形状相同，在中心部与分区部的结合处设置有连接部、在分区部的边缘设置有与连接部相配合使得分区部呈规则多边形分布的边缘部；并且，连接部和边缘部的刚度值小于中心部或分区部的刚度值。利用上述发明能够有效防止过滤膜在加工时受到外力作用极易产生变形而出现不规则褶皱等问题。

技术领域

本发明涉及电子产品技术领域，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该微型麦克风防尘装置的MEMS麦克风。

背景技术

现有的MEMS麦克风通常设置有防尘结构，防尘结构主要包括支撑件和防尘膜，通过防尘结构阻止外界粉尘、颗粒等污染物进入麦克风内部，进而确保麦克风产品的声学性能。

但是，由于防尘膜的厚度极薄，而其平面尺寸相对厚度的比值又较大，在加工或使用过程中，受到如热应力等外力作用时极易产生变形而出现不规则的褶皱；此外，在防尘膜加工工艺过程中，热应力是不容易避免的，使得传统的防尘薄膜在封装时容易有褶皱等外观不良现象，影响产品的性能及用户体验。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，以解决目前防尘膜容易受到外力作用而出现不规则褶皱，导致其防尘性能差等问题。

本发明提供的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的过滤膜；过滤膜包括固定部以及设置在固定部内部的过滤网；过滤网包括中心部以及环绕中心部设置的分区部；中心部与分区部的形状相同，在中心部与分区部的结合处设置有连接部、在分区部的边缘设置有与连接部相配合使得分区部呈规则多边形分布的边缘部；并且，连接部和边缘部的刚度值小于中心部或分区部的刚度值。

此外，优选的技术方案是，过滤网、中心部和分区部的形状均为三角形；分区部设置有三个，三个分区部分别位于中心部的三个边上。

此外，优选的技术方案是，中心部的形状为具有至少四个边的多边形；分区部的设置个数与中心部的边的个数相等。

此外，优选的技术方案是，中心部的形状为规则六边形；分区部分别设置在中心部的六个边上，且位于相邻设置的两分区部之间的边缘部相重合。

此外，优选的技术方案是，位于相邻两分区部边缘位置的相邻两边缘部之间的夹角范围为0～180°。

此外，优选的技术方案是，在过滤网上设置有规则分布的穿孔；通过改变穿孔在连接部、边缘部、中心部以及分区部处的形状及密度以调节连接部、边缘部、中心部及分区部的刚度值。

此外，优选的技术方案是，穿孔的宽度范围为0.1μm～10μm。

此外，优选的技术方案是，连接部和边缘部处的相邻两穿孔之间相互交错分布。

此外，优选的技术方案是，连接部和边缘部配合使得过滤网在垂直方向上呈规则凹凸分布。

根据本发明的另一方面，提供一种MEMS麦克风，包括上述微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的声孔处；或者，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的芯片处。

利用上述微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，将过滤网划分为形状相同的中心部和分区部区域，并在中心部和分区部的边缘设置刚度值较低的连接部或边缘部，由于低刚度值的区域在装置受到压缩外力时相对容易变形，能够使得防尘膜的变形控制在低刚度值区域的边界而不会产生不规则褶皱。