[发明专利]缺陷分析方法及装置、电子装置及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种缺陷分析方法，其特征在于，所述缺陷分析方法包括：

获取各制程站点各机台所经过的产品的基本信息；

获取各制程站点各机台的生产因子信息；

获取各缺陷检测站点所检测的产品的缺陷信息，所述产品在经过至少一个制程站点后经过所述缺陷检测站点；

根据所述各制程站点各机台所经过的产品的基本信息及所述产品的缺陷信息确定问题制程站点的问题机台；

根据所述各机台的生产因子信息及所述产品的缺陷信息确定影响问题机台的生产因子。

2.如权利要求1所述的缺陷分析方法，其特征在于，所述根据所述各制程站点各机台所经过的产品的基本信息及所述产品的缺陷信息确定问题制程站点的问题机台包括：

根据所述各制程站点各机台所经过的产品的基本信息及所述产品的缺陷信息确定预设组合的瑕疵现象集中程度，所述预设组合为制程站点和机台的组合；

根据所述预设组合的瑕疵现象集中程度确定所述问题制程站点的问题机台。

3.如权利要求2所述的缺陷分析方法，其特征在于，所述根据所述各制程站点各机台所经过的产品的基本信息及所述产品的缺陷信息确定预设组合的瑕疵现象集中程度包括：

根据所述各制程站点各机台所经过的产品的基本信息确定各预设组合所经过的产品的产量在所有预设组合所经过的产品的总产量中所占的比重a1；

根据所述各制程站点各机台所经过的产品的基本信息及所述产品的缺陷信息确定各预设组合所经过的产品中有缺陷的产量在各预设组合所经过的产品的产量中所占的比重a2；

根据所述各制程站点各机台所经过的产品的基本信息及所述产品的缺陷信息确定a2与所有预设组合所经过的产品中有缺陷的总产量在所有预设组合所经过的产品的总产量中所占的比重a3的比值a4；

根据所述比重a1、所述比重a2及所述比值a4确定所述预设组合的瑕疵现象集中程度。

4.如权利要求3所述的缺陷分析方法，其特征在于，所述根据所述比重a1、所述比重a2及所述比值a4确定所述预设组合的瑕疵现象集中程度包括：

计算以所述比重a1、所述比重a2及所述比值a4作为参数的预设函数的值；

根据所述预设函数的值确定所述预设组合的瑕疵现象集中程度，其中所述预设函数的值越大，所述预设组合的瑕疵现象集中程度越高；所述预设函数的值越小，所述预设组合的瑕疵现象集中程度越低，或者所述预设函数的值越小，所述预设组合的瑕疵现象集中程度越高；所述预设函数的值越大，所述预设组合的瑕疵现象集中程度越低。

5.如权利要求1所述的缺陷分析方法，其特征在于，所述根据所述各机台的生产因子信息及所述产品的缺陷信息确定影响问题机台的生产因子包括：

根据所述各机台的生产因子信息确定所述机台的生产因子的类型为连续型和类别型中的一种；

根据所述机台的生产因子的类型及所述问题机台所经过的产品的缺陷信息的数量从T检验、曼-惠特尼-维尔科克森检验、卡方检验及费希尔精确检验中确定一种检验方法；

根据所述各机台的生产因子信息及所述产品的缺陷信息通过所述检验方法确定影响问题机台的生产因子。

6.如权利要求5所述的缺陷分析方法，其特征在于，所述根据所述各机台的生产因子信息确定所述机台的生产因子的类型为所述连续型和所述类别型中的一种包括：

判断所述各机台的生产因子信息中相异的数量是否大于5；

若所述各机台的生产因子信息中相异的数量大于5，确定所述机台的生产因子的类型为所述连续型；

若所述各机台的生产因子信息中相异的数量小于或等于5，确定所述机台的生产因子的类型为所述类别型。