[发明专利]一种衍射光栅在线检测装置在审
| 申请号： | 202010529014.8 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111610006A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 周敢;张邦武 | 申请（专利权）人： | 腾景科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人： | 吴德兰 |
| 地址： | 350015 福建省福州市马尾科技园*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 光栅 在线 检测 装置 | ||
1.一种衍射光栅在线检测装置，其特征在于：包括衍射光栅（101）、光源（200）、分束器（201）、棱镜（202），所述衍射光栅（101）上设有刻槽面，所述刻槽面上设有刻槽线（102），所述刻槽线（102）与参考面（103）之间设有光栅角（104）；所述光源（200）发射的光经由所述分束器（201）分成三束平行光，三束所述平行光分别为第一光束（210）、第二光束（220）和第三光束（230）；
所述第一光束（210）入射入所述衍射光栅（101）的刻槽面产生-1级衍射光（209）和+1级衍射光（211），所述第二光束（220）和第三光束（230）入射至棱镜（202）的两个反射面上，分别对应产生第一反射光（221）和第二反射光（231）；
所述分束器（201）与所述参考面（103）垂直，所述棱镜（202）的两个反射面也与所述参考面（103）垂直，所述分束器（201）由两个分光元件组成。
2.根据权利要求1所述的一种衍射光栅在线检测装置，其特征在于，所述光栅角（104）为90°时，所述刻槽线（102）的方向与所述参考面（103）精确垂直。
3.根据权利要求1或2所述的一种衍射光栅在线检测装置，其特征在于，两个所述分光元件分别为第一分光元件（301）和第二分光元件（302），所述第一分光元件（301）和第二分光元件（302）由双折射晶体YVO4制作而成。
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