[发明专利]一种超精机的振动机构

权利要求书

1.一种超精机的振动机构，其特征是：包括安装座、振动座，安装座与振动座之间通过弹性体连接，在安装座上固定直线伺服电机的线圈部分，在振动座的上端设置有直线伺服电机的磁板部分，磁板部分与线圈部分相互对应且存在间隙，在振动座上设置有竖直方向的滑轨，在滑轨上设置有油石座，在油石座上设置有油石压板，油石座和油石压板之间设置油石，在油石座上方的振动座上固定有压紧气缸，压紧气缸的伸缩端与油石座连接。

2.根据权利要求1所述的一种超精机的振动机构，其特征是：在安装座的顶端向一侧延伸有安装顶板，在安装座的下端两侧向同侧延伸有两个安装侧板，所述振动座设置在两个安装侧板之间，振动座与安装侧板之间通过弹性体连接。

3.根据权利要求2所述的一种超精机的振动机构，其特征是：所述的安装侧板与弹性体的下端固定连接，弹性体的上端与振动座之间固定连接，振动座与安装侧板之间存在间隙。

4.根据权利要求3所述的一种超精机的振动机构，其特征是：所述的弹性体为矩形片状结构。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种超精机的振动机构，其特征是：所述的滑轨上设置有竖直方向的燕尾槽，在油石座上设置有与燕尾槽配合的燕尾状凸起，燕尾状凸起在燕尾槽内滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种超精机的振动机构，其特征是：滑轨上的燕尾槽的宽度大于油石座上燕尾状凸起的宽度，在燕尾槽与燕尾状凸起配合后的间隙内设置有压紧条，在压紧条所在侧面的轨道上设置有若干个螺孔，在每个螺孔内设置有锁紧螺丝，在锁紧螺丝与压紧条之间设置有弹性件，弹性件将压紧条压向油石座上的燕尾状凸起。

7.根据权利要求6所述的一种超精机的振动机构，其特征是：所述的弹性件由多个蝶形垫片正反交错重叠设置形成。

8.根据权利要求1所述的一种超精机的振动机构，其特征是：在油石座的两端设置有限位块，用于限制油石的位置。

9.根据权利要求5所述的一种超精机的振动机构，其特征是：在振动座上并排设置有两个滑轨，在每个滑轨上均设置油石座和油石压板，在两个滑轨上的油石座和油石压板之间设置不同精度的油石。

10.根据权利要求1所述的一种超精机的振动机构，其特征是：在安装座上通过支架设置有位置传感器。