[发明专利]一种金刚石颗粒真空微蒸发镀钼方法有效
申请号: | 202010433427.6 | 申请日: | 2020-05-21 |
公开(公告)号: | CN111733386B | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 王长瑞;李治佑;李宏钊;敬奇;田威 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/18;C23C14/06 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 王慧颖 |
地址: | 210016 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金刚石 颗粒 真空 蒸发 方法 | ||
1.一种金刚石颗粒真空微蒸发镀钼方法,其特征在于,所述的方法具体如下
步骤一、选取Mo粉颗粒、金刚石粉末颗粒,所述的Mo粉颗粒、金刚石粉末颗粒的摩尔质量比10:1,Mo粉颗粒的平均粒径为2μm;金刚石颗粒粒径为50~200μm;
步骤二、将金刚石颗粒进行清洗干燥;
步骤三、将金刚石颗粒与Mo粉混合后进行球磨;所述的步骤三的球磨具体参数为:行星式球磨机,球磨罐内气压:≤0.1MPa,转速:340~380r/min,时间:顺逆时针各60min;球磨时球磨球选用不锈钢球或氧化锆陶瓷球,球与混合粉末重量比为2:1;
步骤四、将球磨后的混合物放入真空微蒸镀设备中进行蒸镀,分别设定蒸镀时间以及蒸镀温度;真空微蒸发镀的具体参数为:镀覆温度:900~1000℃,镀覆时间:20min~4h;具体步骤为:将球磨罐中的粉末平铺入陶瓷皿中,移入真空微蒸发镀设备中,设定镀覆温度为900~1000℃之间,镀覆时间为20min~4h,镀覆室内压力保持在0.1MPa以下,保温时间为60min,保温后冷却,冷却方式为随炉冷却,得到表面镀Mo的金刚石颗粒初产物;镀覆温度升温至800℃以上,Mo与C发生反应完全并生成Mo2C,可有效防止在过高蒸镀温度下蒸镀过程中可能会出现的金刚石表面石墨化现象;同时,Mo的碳化物有良好的的导热性,Mo2C的热导率可达到127W/(m·K),适用于制作成金刚石铜复合材料中金刚石与铜之间的连接界面;
步骤五、取出粉末进行研磨、筛选再进行清洗即可得到表面镀Mo的金刚石粉末颗粒。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石颗粒真空微蒸发镀钼方法,其特征在于,所述的步骤二的具体步骤为:
2.1、将金刚石放入丙酮溶液中,超声振动清洗5~10min,超声后去离子水冲洗至中性、干燥;
2.2、将干燥后的刚石颗粒使用10%NaOH溶液再继续超声清洗5~10min,超声后去离子水冲洗至中性、干燥;
2.3、将干燥后的刚石颗粒使用10%的HCl溶液再继续超声清洗5~10min,超声后去离子水冲洗至中性、干燥即可。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石颗粒真空微蒸发镀钼方法,其特征在于,所述的步骤五的具体步骤为:将粉末倒入研磨皿中进行研磨打散,研磨15~30min;将研磨后的粉末倒入320目的网筛中振动,筛选出粒径100μm以上的颗粒;将筛选后的粉末放入去离子水中超声振动清洗,反复洗至水清亮透明,最终得到表面镀Mo的金刚石粉末颗粒。
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