[发明专利]一种具有温度补偿功能的试验装置在审
| 申请号： | 202010431379.7 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111610009A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张海民;赛建刚;高斌;王亚军;赵燕;高博;韩磊;段炯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00;F04B41/06;F04B37/14;F04B49/22;F04B49/24;G05D27/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 董娜 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 温度 补偿 功能 试验装置 | ||
1.一种具有温度补偿功能的试验装置，包括试验箱(1)和真空系统(2)，其特征在于：还包括外密封腔压力传感器(8)、内密封腔压力传感器(9)及设置在试验箱(1)内的内箱(3)和温度补偿系统；
所述内箱(3)外壁与试验箱(1)内壁之间存在距离，试验箱(1)内壁和内箱(3)外壁之间形成外密封腔(4)，内箱(3)内壁之间形成内密封腔(5)；
所述外密封腔(4)与真空系统(2)相连；
所述内箱(3)上设有多个单向散气孔(6)，单向散气孔(6)的进口位于内密封腔(5)内，出口位于外密封腔(4)内；
所述温度补偿系统设置在内密封腔(5)内，用于对内密封腔(5)进行加热；
所述外密封腔压力传感器(8)设置在外密封腔(4)内，其输出端设置在试验箱(1)外部；
所述内密封腔压力传感器(9)设置在内密封腔(5)内，其输出端依次穿过内箱(3)、外密封腔(4)、试验箱(1)，设置在试验箱(1)外部。
2.根据权利要求1所述具有温度补偿功能的试验装置，其特征在于：所述单向散气孔(6)的直径小于10mm。
3.根据权利要求2所述具有温度补偿功能的试验装置，其特征在于：内箱(3)上每100mm2设有2个单向散气孔(6)，所有单向散气孔(6)的孔心距相等。
4.根据权利要求1或2或3所述具有温度补偿功能的试验装置，其特征在于：所述温度补偿系统包括设置在内箱(3)内壁上的加热器(71)和设置在内箱(3)中待参试产品(11)上的温度传感器(72)。
5.根据权利要求4所述具有温度补偿功能的试验装置，其特征在于：所述加热器(71)为多个，且均匀布置在内箱(3)内壁上。
6.根据权利要求5所述具有温度补偿功能的试验装置，其特征在于：所述加热器(71)为聚酰亚胺薄膜电加热器，温度传感器(72)为铂电阻温度传感器。
7.根据权利要求1所述具有温度补偿功能的试验装置，其特征在于：所述内箱(3)外壁与试验箱(1)内壁之间的距离为100mm～300mm。
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