[发明专利]玻璃基板的对位装置及其对位方法

权利要求书

1.一种玻璃基板的对位装置，其特征在于，所述玻璃基板的对位装置包括承载部件、对位部件、及移动部件；

所述承载部件承载待对位玻璃基板；

所述移动部件使所述对位部件以及所述待对位玻璃基板移动；

所述对位部件包括多个第一对位单元，所述第一对位单元位于所述对位装置的外围，所述第一对位单元垂直于所述待对位玻璃基板；

所述第一对位单元的表面包括多个第一开孔，所述第一开孔朝向所述待对位玻璃基板；

其中，所述对位部件还包括第一管路，所述第一管路用于将气体输送至所述第一开孔，以及通过所述气体改变所述待对位玻璃基板的位置。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的对位装置，其特征在于，所述对位部件还包括开关单元，所述开关单元位于所述第一管路与气体单元之间，所述开关单元用于控制所述第一管路的开启或关闭。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的对位装置，其特征在于，所述对位部件还包括调节单元，所述调节单元位于所述开关单元与所述第一管路之间，所述调节单元用于调节所述第一管路的气体压力。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板的对位装置，其特征在于，所述对位部件还包括多个第二对位单元、及第二管路，所述第一对位单元与所述第二对位单元连接；

所述第二对位单元的表面包括多个第二开孔，所述第二开孔朝向所述待对位玻璃基板，所述第二管路用于将气体输送至所述第二开孔；

所述第二对位单元与所述待对位玻璃基板平行，所述第二对位单元位于靠近所述承载部件一侧，所述第二对位单元在所述待对位玻璃基板上的正投影位于所述待对位玻璃基板内。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板的对位装置，其特征在于，所述承载部件包括多个悬浮单元，所述悬浮单元包括多个朝向所述待对位玻璃基板的第三开孔、及第三管路；

其中，所述第三管路用于将气体输送至所述第三开孔。

6.一种玻璃基板的对位装置的对位方法，其特征在于，包括：

将待对位玻璃基板置于玻璃基板的对位装置上，所述玻璃基板的对位装置包括承载部件、对位部件、及移动部件；

通过移动部件将所述对位部件移动至第一预设位置，将所述对位部件与待对位玻璃基板接触；

通过移动部件将所述对位部件与所述待对位玻璃基板移动至第二预设位置；

其中，所述对位部件包括多个第一对位单元，所述第一对位单元位于所述对位装置的外围，所述第一对位单元垂直于所述待对位玻璃基板，所述第一对位单元的表面包括多个第一开孔，所述第一开孔朝向所述待对位玻璃基板。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板的对位装置的对位方法，其特征在于，所述对位部件还包括第一管路，将待对位玻璃基板置于玻璃基板的对位装置上之后包括：

开启所述第一管路，所述第一管路将气体输送至所述第一开孔，以及通过所述气体改变所述待对位玻璃基板的位置。

8.根据权利要求6所述的玻璃基板的对位装置的对位方法，其特征在于，所述对位部件还包括多个第二对位单元、第一管路、及第二管路，所述第一对位单元与所述第二对位单元连接，所述第二对位单元的表面包括多个第二开孔，所述第二开孔朝向所述待对位玻璃基板，所述第二对位单元与所述待对位玻璃基板平行，所述第二对位单元位于靠近所述承载部件一侧，所述第二对位单元在所述待对位玻璃基板上的正投影位于所述待对位玻璃基板内，将待对位玻璃基板置于玻璃基板的对位装置上之后包括：

开启所述第一管路、及所述第二管路，所述第一管路将气体输送至所述第一开孔，所述第二管路将气体输送至所述第二开孔，以及通过所述气体改变所述待对位玻璃基板的位置。

9.根据权利要求6所述的玻璃基板的对位装置的对位方法，其特征在于，所述承载部件包括多个悬浮单元，所述悬浮单元包括多个朝向所述待对位玻璃基板的第三开孔、及第三管路，通过移动部件将所述对位部件移动至第一预设位置之前包括：

开启所述第三管路，所述第三管路将气体输送至所述第三开孔；

将待对位玻璃基板置于玻璃基板的对位装置上，使所述待对位玻璃基板悬浮于所述玻璃基板的对位装置之上。