[发明专利]旋转靶端头检漏装置

说明书

本发明公开了一种旋转靶端头检漏装置包括对接件、承接座和测压仪，对接件具有流体接入腔，流体接入腔贯穿对接件的两端，承接座上设有一可选择性启闭的流体注入口，测压仪连通于流体接入腔，对接件的第一端与端头的安装端可拆卸地密封连接，对接件的第二端安装于承接座上，流体注入口连通于对接件的流体接入腔，对接件在安装到端头的安装端后流体接入腔连通于端头的水电出入口。本发明的旋转靶端头检漏装置具有检测便捷和检测成本低的优点。

技术领域

本发明涉及检具设备领域，尤其涉及一种旋转靶端头快速检漏装置。

背景技术

现有的镀膜线在工作时，旋转靶需要旋转并通电工作，由于通电会产生热量故需要往旋转靶内注水进行冷却。目前的旋转靶大都由合金制成的端头所支撑，在镀膜线换靶期间一般会将经保养维护后的新端头去更换下在使用的旧端头，新端头安装后还需与旋转靶在真空环境下进行实机检验，以检测新端头是否存在泄漏的情况，如果发现新端头有泄漏或有故障，轻则会影响到真空度，需要停用旋转靶材，重则会造成镀膜设备的损坏。但目前的新端头检漏过程操作繁复，而且新端头在测试时出现泄漏和故障，还必须卸下新端头，耗时耗力。

因此，亟需要一种检测便捷且成本低的旋转靶端头检漏装置快速来克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测快速便捷的旋转靶端头检漏装置。

为实现上述目的，本发明的旋转靶端头检漏装置，适与端头配装使用，所述端头具有一供旋转靶材安装的安装端和一供水电基座安装的装配端，所述端头的安装端和装配端各对应设有一水电出入口和水电对接口，所述旋转靶端头检漏装置包括对接件、承接座和测压仪，所述对接件具有流体接入腔，所述流体接入腔贯穿所述对接件的两端，所述承接座上设有一可选择性启闭的流体注入口，所述测压仪连通于流体接入腔，所述对接件的第一端与所述端头的安装端可拆卸地密封连接，所述对接件的第二端安装于所述承接座上，所述流体注入口连通于所述对接件的流体接入腔，所述对接件在安装到所述端头的安装端后所述流体接入腔连通于所述端头的水电出入口。

较佳地，所述对接件为一管状件。

较佳地，所述对接件的第一端螺接于所述端头的安装端。

较佳地，所述对接件在安装到所述端头的安装端后呈水平布置。

较佳地，所述承接座内设有一流体通道，所述承接座包括呈竖直布置的安装板及水平凸伸于所述安装板的凸柱，所述流体通道的第一端贯穿于所述安装板并连通于所述对接件的流体接入腔，所述流体通道的第二端贯穿于所述凸柱，所述流体注入口设置所述凸柱的端部处。

较佳地，本发明的旋转靶端头检漏装置还包括一水平布置输入管，所述输入管安装于所述凸柱上，所述输入管的第一端连通于所述流体输入口，所述输入管上安装有一开关阀。

较佳地，所述测压仪安装于所述输入管上并设于所述凸柱与所述开关阀之间。

较佳地，所述对接件为一圆筒件，所述对接件的第一端的外缘上设有螺纹。

较佳地，所述对接件的轴线与所述安装板呈相互垂直布置。

较佳地，所述测压仪为一压力表。