[发明专利]一种共光路角镜干涉仪及干涉方法

权利要求书

1.一种共光路角镜干涉仪，其特征在于：包括半透半反分束器(2)、平面反射镜(5)、第一直角角镜(3)、第二直角角镜(4)和光程差元件(6)；

所述半透半反分束器(2)将入射光(1)分成透射的第一光束和反射的第二光束；

所述平面反射镜(5)相对于半透半反分束器(2)垂直设置；

所述第一直角角镜(3)和第二直角角镜(4)非对称设置于半透半反分束器(2)的两侧，且第一直角角镜(3)的基面与入射光入射方向平行，第二直角角镜(4)的基面与入射光入射方向垂直；

所述第一光束依次经过平面反射镜(5)、第一直角角镜(3)、平面反射镜(5)、第二直角角镜(4)、平面反射镜(5)反射后，返回半透半反分束器(2)，被分为第一透射光束和第一反射光束；

所述第二光束依次经过平面反射镜(5)、第二直角角镜(4)、平面反射镜(5)、第一直角角镜(3)、平面反射镜(5)反射后，返回半透半反分束器(2)，被分为第二反射光束和第二透射光束；

所述第一反射光束和第二透射光束与入射光(1)平行；

所述光程差元件(6)设置在第二光束从半透半反分束器(2)反射后至返回到半透半反分束器(2)光路的任意位置，或者，设置在第一光束从半透半反分束器(2)透射后至返回到半透半反分束器(2)光路的任意位置，使第一光束与第二光束之间产生光程差。

2.根据权利要求1所述的一种共光路角镜干涉仪，其特征在于：所述第一直角角镜(3)和第二直角角镜(4)相对于半透半反分束器(2)的距离不等。

3.根据权利要求1或2所述的一种共光路角镜干涉仪，其特征在于：所述第一直角角镜(3)和第二直角角镜(4)相对于平面反射镜(5)的距离不等。

4.根据权利要求1或2所述的一种共光路角镜干涉仪，其特征在于：所述第一直角角镜(3)和第二直角角镜(4)均为二面直角角镜或者均为三面直角角镜。

5.根据权利要求4所述的一种共光路角镜干涉仪，其特征在于：所述光程差元件(6)为棱镜或者反射镜组合。

6.一种权利要求1-5任一所述共光路角镜干涉仪的干涉方法，其特征在于：

入射光(1)以平行光或者会聚光进入到共光路角镜干涉仪，使入射光入射方向与第一直角角镜(3)的基面平行，与第二直角角镜(4)的基面垂直；

入射光(1)经过半透半反分束器(2)分成透射的第一光束和反射的第二光束；

所述第一光束第一次入射到平面反射镜(5)后被反射到第一直角角镜(3)，经第一直角角镜(3)反射后，第二次入射到平面反射镜(5)，再次反射进入第二直角角镜(4)，通过第二直角角镜(4)反射后，第三次入射到平面反射镜(5)，经反射后到达半透半反分束器(2)；

所述第二光束第一次入射到平面反射镜(5)后被反射到第二直角角镜(4)，经第二直角角镜(4)反射后，第二次入射到平面反射镜(5)，再次反射进入第一直角角镜(3)，通过第一直角角镜(3)反射后，第三次入射到平面反射镜(5)，经反射后到达半透半反分束器(2)；

所述第一光束在到达半透半反分束器(2)之前经过光程差元件(6)，或者，所述第二光束在到达半透半反分束器(2)之前经过光程差元件(6)；

所述第一光束经半透半反分束器(2)再次分为第一透射光束和第一反射光束；所述第二光束经半透半反分束器(2)再次分为第二反射光束和第二透射光束；

所述第一透射光束和第二反射光束沿垂直于入射光入射方向叠加，形成干涉条纹；所述第一反射光束和第二透射光束沿平行于入射光入射方向叠加，形成干涉条纹。