[发明专利]用于有机薄膜晶体管的可光图案化的有机半导体(OSC)聚合物有效
| 申请号: | 202010332347.1 | 申请日: | 2020-04-24 |
| 公开(公告)号: | CN111736428B | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
| 发明(设计)人: | 贺明谦;李鑫;李阳;王宏祥 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;G03F7/004;H01L51/30 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张璐;项丹 |
| 地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 有机 薄膜晶体管 图案 有机半导体 osc 聚合物 | ||
提供了用于有机薄膜晶体管的可光图案化的有机半导体(OSC)聚合物。一种聚合物掺混物,其包括至少一种有机半导体(OSC)聚合物和至少一种光敏剂,使得所述至少一种OSC聚合物是二酮基吡咯并吡咯‑稠合噻吩聚合材料,其中,所述稠合噻吩是β取代的。
背景
技术领域
本公开涉及用作有机薄膜晶体管(OTFT)的半导体层的可光图案化的有机半导体(OSC)聚合物。
背景技术
有机薄膜晶体管(OTFT)作为常规硅基技术的替代选择已引起广泛关注,常规硅基技术需要高温和高真空沉积过程,以及复杂的光刻图案化方法。半导体 (即,有机半导体,OSC)层是OTFT中的一种重要部件,其可有效影响装置的性能。
传统的无机TFT装置阵列制造技术常依赖于光刻法作为图案化工艺。然而,光刻法在图案转移或光致抗蚀剂移除期间常涉及苛刻的氧(O2)等离子体,以及涉及侵蚀性显影溶剂,它们可以严重地损坏OSC层并导致装置性能显著下降。
本公开涉及改进的可光图案化的有机半导体聚合物,以及其用于有机薄膜晶体管的OSC层的用途。
发明内容
在一些实施方式中,一种聚合物掺混物包含:至少一种有机半导体(OSC) 聚合物和至少一种光敏剂,其中,所述至少一种OSC聚合物是二酮基吡咯并吡咯- 稠合噻吩聚合材料,其中,所述稠合噻吩是β取代的。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述至少一种OSC聚合物包含第一部分和第二部分,其中,第一部分或第二部分中的至少一者包含至少一个可UV固化的侧链。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述至少一个可UV固化的侧链包含以下中的至少一种:丙烯酸酯、环氧化物、氧杂环丁烷、烯、炔、叠氮化物、硫醇、烯丙氧基硅烷、酚、酐、胺、氰酸酯、异氰酸酯、甲硅烷基氢化物、查耳酮、肉桂酸酯、香豆素、氟硫酸酯、甲硅烷基醚或其组合。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述至少一个可UV固化的侧链包括查耳酮、肉桂酸酯、香豆素或其组合中的至少一种。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,聚合物掺混物还包含:至少一种交联剂,其中,所述至少一种交联剂包含以下中的至少一种:丙烯酸酯、环氧化物、氧杂环丁烷、烯、炔、叠氮化物、硫醇、烯丙氧基硅烷、酚、酐、胺、氰酸酯、异氰酸酯、甲硅烷基氢化物、查耳酮、肉桂酸酯、香豆素、氟硫酸酯、甲硅烷基醚或其组合。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,聚合物掺混物还包含:至少一种交联剂,其中,所述至少一种交联剂包括查耳酮、肉桂酸酯、香豆素或其组合中的至少一种。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,聚合物掺混物还包含:至少一种交联剂,其选自:
或其组合。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述至少一种光敏剂选自:
或其组合。
在可与任何其他方面或实施方式组合的一个方面中,聚合物掺混物还包含:抗氧化剂、润滑剂、增容剂、流平剂或成核剂中的至少一种,其存在的量在0.05 重量%至5重量%的范围内。
在可与任意其他方面或实施方式组合的一个方面中,所述至少一种OSC聚合物包含式1或式2的重复单元,或者其盐、异构体或类似物:
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