[发明专利]双向扫描的拼接错位补偿方法和无掩膜光刻设备

权利要求书

1.一种基于双向扫描的拼接错位补偿方法，其特征在于，包括：

获取扫描速度；

根据所述扫描速度计算正向扫描延时距离和反向扫描延时距离；

根据所述正向扫描延时距离调整正向扫描理论起始点坐标；根据所述反向扫描延时距离调整反向扫描理论起始点坐标

根据所述正向扫描起始点坐标获得正向扫描曝光数据，以及根据所述反向扫描起始点坐标获得反向扫描曝光数据；

将所述正向扫描曝光数据和所述反向扫描曝光数据进行拼接。

2.根据权利要求1所述的基于双向扫描的拼接错位补偿方法，其特征在于，根据所述扫描速度计算正向扫描延时距离包括：

根据所述扫描速度和正向延时时间计算所述正向扫描延时距离。

3.根据权利要求1所述的基于双向扫描的拼接错位补偿方法，其特征在于，根据所述扫描速度计算反向扫描延时距离包括：

根据所述扫描速度和反向延时时间计算所述反向扫描延时距离。

4.根据权利要求1所述的基于双向扫描的拼接错位补偿方法，其特征在于，根据所述正向扫描延时距离调整正向扫描理论起始点坐标以获得正向扫描起始点坐标包括：

将所述正向扫描理论起始点坐标减去所述正向扫描延时距离，以获得所述正向扫描起始点坐标。

5.根据权利要求1所述的基于双向扫描的拼接错位补偿方法，其特征在于，根据所述反向扫描延时距离调整反向扫描理论起始点坐标以获得反向扫描起始点坐标包括：

将所述反向扫描理论起始点坐标加上所述反向扫描延时距离，以获得所述反向扫描起始点坐标。

6.一种无掩膜光刻设备，其特征在于，包括：

移动平台；

主控制器和平台控制器，所述主控制器与所述平台控制器通信连接，所述主控制器用于执行权利要求1-5任一项所述的基于双向扫描的拼接错位补偿方法，并发送控制指令给所述平台控制器，所述平台控制器根据所述控制指令控制所述移动平台移动。