[发明专利]抛光方法

权利要求书

1.一种抛光方法，其特征在于，包括：

于第一温度使用第一含氟溶液对待抛光产品进行电抛，得到中抛产物；所述第一温度处于80℃～90℃之间，所述第一含氟溶液包括硫酸铵和氟化氢铵，其中：所述硫酸铵的质量分数小于3％，所述氟化氢铵的质量分数大于6％；

于第二温度使用第二含氟溶液对中抛产物进行电抛，得到精抛产物，包括：

向精抛电抛容器中加入第二含氟溶液，并将精抛电抛容器连接至精抛抛光机的阴极；

将所述第二含氟溶液加热至第二温度；

将固定有中抛产物的挂具转移至精抛抛光机上，并将挂具连接至精抛抛光机的阳极；

对精抛抛光机的电力参数进行设置；

使中抛产物浸入第二含氟溶液中，得到精抛产物；具体包括：中抛产物从上往下浸入第二含氟溶液中；电抛预设时间后，将中抛产物取出；将中抛产物上下倒置，然后再次从上往下浸入第二含氟溶液中进行电抛；将中抛产物升起，得到精抛产物；

其中，所述第一温度低于所述第二温度，所述第一含氟溶液的含氟质量分数大于所述第二含氟溶液的含氟质量分数；所述第二温度处于92℃～97℃之间，所述第二含氟溶液包括硫酸铵、氟化氢铵、钼酸铵、亚硫酸钠和十二烷基苯磺酸钠，其中：所述硫酸铵的质量分数大于5％；所述氟化氢铵的质量分数小于0.5％；钼酸铵的质量分数为0.05％～0.15％；亚硫酸钠的质量分数为0.01％～0.02％；十二烷基苯磺酸钠的质量分数为0.05％～0.15％。

2.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，所述于第一温度使用第一含氟溶液对待抛光产品进行电抛，得到中抛产物包括：

向中抛电抛容器中加入第一含氟溶液，并将中抛电抛容器连接至中抛电抛机的阴极；

将所述第一含氟溶液加热至第一温度；

将待抛光产品固定于挂具上，并将挂具连接至中抛电抛机的阳极；

对中抛抛光机的电力参数进行设置；

使待抛光产品浸入第一含氟溶液中，得到中抛产物。

3.根据权利要求2所述的抛光方法，其特征在于，所述使待抛光产品浸入第一含氟溶液中，得到中抛产物包括：

将待抛光产品从上往下浸入第一含氟溶液中；

电抛预设时间后，将待抛光产品取出；

将待抛光产品上下倒置，然后再次从上往下浸入第一含氟溶液中；

将待抛光产品取出，得到中抛产物。

4.根据权利要求2所述的抛光方法，其特征在于，所述对中抛抛光机的电力参数进行设置具体为：

设置电压为326V，正向脉率10000Hz,占空比为0.10。

5.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，所述对精抛抛光机的电力参数进行设置具体为：

设置电压为330V，正向脉率10000Hz,占空比为0.50。

6.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，还包括：

使用硝酸溶液对所述精抛产物进行浸泡，然后超声清洗。