[发明专利]一种导模法生长单晶的模具及组件及加工方法在审
申请号: | 202010225166.9 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN111411391A | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 张学锋;肖学峰 | 申请(专利权)人: | 宁夏钜晶源晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;B23P15/24 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 周晓梅 |
地址: | 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导模法 生长 模具 组件 加工 方法 | ||
1.一种导模法生长单晶的模具,其特征在于:包括相对设置的内侧模板、外侧模板,相对设置的内侧模板、外侧模板之间间隔熔体流过的狭缝,内侧模板、外侧模板的相对内壁为光滑表面,还在内侧模板的上端面开设内侧倒角,还在外侧模板的上端面开设外侧倒角,内侧倒角和外侧倒角相对设置,用于控制晶体形状的厚度,还在内侧模板、外侧模板的侧壁上开设供溶体进入狭缝的过孔。
2.如权利要求1所述的导模法生长单晶的模具,其特征在于:内侧倒角和外侧倒角的端面为平面或弧形面。
3.如权利要求1所述的导模法生长单晶的模具,其特征在于:还在内侧模板、外侧模板的侧壁的底部开设过孔。
4.如权利要求3所述的导模法生长单晶的模具,其特征在于:还在内侧模板的外壁上部开设内侧缺角,还在外侧模板的外壁上部开设外侧缺角。
5.如权利要求1所述的导模法生长单晶的模具,其特征在于:所述内侧模板、外侧模板为平板件,用于生产平条状薄片晶体。
6.如权利要求1所述的导模法生长单晶的模具,其特征在于:所述内侧模板、外侧模板为圆环状,内侧模板、外侧模板之间间隔的狭缝也为圆环状,用于拉制环壳状薄壁晶体。
7.如权利要求1所述的导模法生长单晶的模具,其特征在于:所述内侧模板、外侧模板为棱柱状,内侧模板、外侧模板之间间隔的狭缝也为棱柱状,用于拉制棱柱体薄壁晶体。
8.一种导模法生长单晶的组件,其特征在于:包括坩埚、模具、盖板,所述坩埚的顶部敞口,用于盛放熔体和置放模具,所述模具的宽度小于坩埚的宽度,以使模具的两侧侧壁不与坩埚内壁接触,所述模具的内侧缺角和外侧缺角具有相同开槽高度,且开槽高度与坩埚的侧壁高度相同,所述盖板为一平板,在盖板的中部开设贯通卡槽,所述卡槽的开槽形状与模具的缺角形状匹配,盖板的卡槽搭接在模具的缺角端面上,盖板的外侧边缘搭接在坩埚的侧壁上,所述模具为如权利要求1-5之一所述的导模法生长单晶的模具。
9.一种导模法生长单晶的模具的加工方法,其特征在于:
机械加工内侧模板、外侧模板;
对内侧模板、外侧模板的内壁进行机械抛光,形成光滑平面。
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