[发明专利]一种微纳加工系统及控制方法在审
| 申请号： | 202010209837.2 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN111377397A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 崔良玉;胡高峰;韩建鑫;靳刚;李占杰;贾静;须颖 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）;三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 天津市弘知远洋知识产权代理有限公司 12238 | 代理人： | 李延容 |
| 地址： | 300000 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加工 系统 控制 方法 | ||
1.一种微纳加工系统，包括装配基臂、定位平台、第一传动连接臂和第二传动连接臂，其特征在于，所述装配基座一侧设有固定基臂，装配基臂上通过第二柔性铰链连接有第一传动连接臂，所述第一传动连接臂上通过第一柔性铰链设有第二传动连接臂，所述固定基臂与第一传动连接臂之间设有第一压电陶瓷驱动器，第二传动连接臂与装配基臂之间设有第二压电陶瓷驱动器，所述第二传动连接臂端部对应定位平台设有刀尖。
2.根据权利要求1所述的一种微纳加工系统，其特征在于：所述第一柔性铰链与第一传动连接臂连接处设有第一压变片，第二柔性铰链与装配基臂连接处设有第二压变片。
3.根据权利要求1所述的一种微纳加工系统，其特征在于：所述固定基臂与第一传动连接臂互相平行。
4.根据权利要求1所述的一种微纳加工系统，其特征在于：所述第一传动连接臂与装配基臂之间互相垂直，第二传动连接臂与第一传动连接臂互相垂直，第二传动连接臂与装配基臂之间互相平行。
5.一种微纳加工系统的控制方法，其特征在于：通过第二压电陶瓷驱动器控制第二传动连接臂在竖直方向即Y向的运动；通过第一压电陶瓷驱动器控制第一传动连接臂在水平方向即X向的运动；第二压电陶瓷驱动器控制第二传动连接臂的下压；第一压电陶瓷驱动器控制第一传动连接臂的平面移动；整体的桥式放大机构设计，可放大压电陶瓷驱动位移；在进行微纳加工时，分别对两个压电陶瓷驱动器施加电压，使刀尖以椭圆形式的轨迹运动，通过改变压电陶瓷电压及频率，改变刀尖切入的范围，实现超声加工或振动辅助加工；通过应变片检测铰链的应变，反馈给控制系统，从而实现精密加工控制。
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