[发明专利]一种高纯度、低羟基石英玻璃原料的制备方法

权利要求书

1.一种高纯度、低羟基石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，采用高纯石英砂熔制石英玻璃，将所得石英玻璃作为初始原料或者直接采用回收的石英玻璃制品作为初始原料，将初始原料制砂后在高温高真空的环境下进行脱羟处理，最后得到高纯度、低羟基的石英玻璃原料。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将初始原料石英玻璃用洁净的水洗涤备用；

（2）将洗净的石英玻璃进行干法或湿法制砂，制出的砂粉进行强磁选或高压电选后分级备用；

（3）对所得物料进行高温高真空脱除羟基处理，即可得到高纯度、低羟基含量的石英玻璃原料砂粉。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，将原料制砂后，将所得石英砂进行酸洗除杂，再进行脱羟基处理。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述酸洗除杂所用的酸液为HF与HCl、HNO₃、H₂C₂O₄中的一种或多种组成的混合酸。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，作为初始原料的熔制的石英玻璃或者回收的石英玻璃制品的纯度为不低于99.99%、羟基含量为10ppm~300ppm；最终所得高纯度、低羟基含量的石英玻璃原料的纯度为99.996%~99.9992%、羟基含量小于1ppm。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用高纯石英砂熔制石英玻璃的步骤包括：

（1）把脉石英原料经选矿--破碎--酸洗--煅烧--水淬--制砂--磁选--分级--酸洗--纯水洗涤--干燥--煅烧--二次水淬--二次酸洗--纯水洗涤--干燥得到高纯石英砂；

（2）把所得高纯石英砂在1150-1200℃进行高温氯化0.5-1h；

（3）把氯化后的石英砂送入连续的熔融装置内，将石英砂熔制成透明的石英玻璃。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，步骤（3）熔制过程中采用惰性气体作为保护气体。

8.一种制备高纯度、高透明度、低羟基石英玻璃的方法，其特征在于，采用权利要求1~7任一项制备方法所得的石英玻璃原料，在惰性气体的保护下进行高温熔融，得到高纯度、高透明度、低羟基石英玻璃。