[发明专利]旋转工作台以及圆度测定机

说明书

提供旋转工作台以及圆度测定机。旋转工作台(10)具有载物台(11)、被绕旋转中心轴线(C)驱动而旋转的旋转基座(21)、设置于旋转基座(21)且支承载物台(11)的支承机构、进行载物台(11)的定水平调整的定水平调整机构和将旋转基座(21)的旋转力向载物台(11)传递的传递机构(94)，传递机构(94)具有能够向内侧插入所述支承机构的环状的传递部件(63)、将传递部件(63)与旋转基座(21)连结且能够绕第一轴线(A1)转动的第一连结机构(61)和将传递部件(63)与载物台(11)连结且能够绕与第一轴线(A1)为交叉方向的第二轴线(A2)转动的第二连结机构(62)。

技术领域

本发明涉及旋转工作台以及圆度测定机。

背景技术

圆度测定机是用于对圆柱、圆筒等具有旋转对称形状的测定对象物(工件)的圆度、圆筒度、同轴度等进行测定的装置。为此，圆度测定机在旋转工作台上搭载工件，使位移计的测定件接触其表面，通过使旋转工作台旋转并同时检测旋转工作台的旋转角和测定件的位移来测定工件的周面形状。

在圆度测定机中，作为旋转工作台，使用具有定心调整机构以及定水平调整机构的向心工作台(参照文献1：日本专利第2569390号公报；以及文献2：日本专利第2863070号公报)。

向心工作台具有上表面水平的旋转基座、能够沿旋转基座的上表面位移的可动基座和支承于可动基座的载物台。载物台经由球面状的滑动面支承于可动基座，能够通过沿滑动面位移来相对于可动基座倾斜。

定心调整机构具备两组类似于测微头的位移机构，能够通过使可动基座相对于旋转基座向两个方向(相互正交的Cx方向以及Cy方向)微小移动来进行载物台的定心调整。

定水平调整机构具备两组与定心调整机构的位移机构对置的同样的位移机构，能够通过使载物台相对于可动基座向两个方向(相互正交的Lx方向以及Ly方向)微小移动而使被球面支承的载物台倾斜，由此进行载物台的定水平调整。

在文献1的圆度测定机中，作为定心调整机构以及定水平调整机构的一部分，使用从旋转基座向上延伸的轴部，作为定水平调整机构的一部分，使用从载物台向下方延伸的两根销部件。

定心调整机构的两组位移机构(Cx、Cy方向)以及定水平调整机构的两组位移机构(Lx、Ly方向)从四个方向与轴部抵接。

两根销部件在载物台的靠外周的部位相对于载物台的旋转中心以90度的间隔设置，且分别与两组位移机构(Lx、Ly方向)卡合。在定水平调整机构中，通过使销部件各自位移而使球面支承于可动基座的载物台倾斜。此时，就可动基座和载物台而言，由于在进行球面支承的滑动面处不能传递旋转，因此经由前述的销部件将来自可动基座的旋转力向载物台传递。

在文献2的圆度测定机中，作为定心调整机构以及定水平调整机构的一部分，使用从载物台向下方延伸的轴部，作为定水平调整机构的一部分，使用从旋转基座向上延伸的两根销部件。文献2的轴部以及销部件虽然分别与文献1中的销部件以及轴部上下反转，但分别具有同样的功能。

在前述的文献1以及文献2的圆度测定机中，在定心或者定水平调整机构中，使用了相对于旋转工作台的旋转中心轴线以90度的间隔配置的两根销部件，经由这些销部件将旋转工作台的旋转力传递到载物台。因此，经由各销部件传递到载物台的旋转力有时会相对于其旋转中心向各销部件所在侧偏倚。

若传递的旋转力有偏倚，则在旋转工作台产生了角加速度时(旋转工作台加减速时或传播了驱动马达的振动时等)，惯性力会导致载物台产生半径方向的力，引起旋转精度变差。

来自驱动马达的振动有可能通过在旋转力的传递路径中组装弹性体等来缓和。但是，在要求高旋转定位精度的圆度测定机中，无法组装使传递路径的刚性下降的弹性体。另外，通过减缓旋转工作台的加减速，能够减轻载物台产生的惯性力。但是，考虑到作业效率，现实中无法采用。