[发明专利]一种贝塞尔光束产生装置及其产生方法

权利要求书

1.一种贝塞尔光束产生装置，其特征在于，包括：

变形镜，用以对入射光进行高阶球差的改变；

二次球面透镜，用以对入射光进行二次球差的改变；

波前传感器，用以对改变后的波前进行测量；

计算机控制器组成，用以根据波前传感器测量到的波前数据控制变形镜进行面形改变，产生贝塞尔光束；

变形镜的面形响应函数具有角度方向均匀、半径方向不均匀的特征。

2.根据权利要求1所述的贝塞尔光束产生装置，其特征在于，所述变形镜为环形驱动布局的变形镜。

3.根据权利要求1所述的贝塞尔光束产生装置，其特征在于，所述变形镜为压电薄膜驱动变形镜。

4.根据权利要求1所述的贝塞尔光束产生装置，其特征在于，所述入射光为入射平行光。

5.根据权利要求1所述的贝塞尔光束产生装置，其特征在于，所述波前传感器与计算机控制器信号连接，所述计算机控制器和变形镜之间为控制连接。

6.根据权利要求5所述的贝塞尔光束产生装置，其特征在于，所述装置还包括分光镜、反射镜和准直透镜，沿入射光入射方向依次设置分光镜、变形镜、反射镜、二次球面透镜、准直透镜和波前传感器。

7.一种利用权利要求1-6任一项所述装置实现的贝塞尔光束产生方法，其特征在于，包括：

将产生贝塞尔光束所需要的非球面波前进行分解，得到二次球面成分和高阶球差成分，其中二次球面成分利用二次球面透镜产生，高阶球差成分利用变形镜产生；

对变形镜的面形响应函数进行测量，然后对其进行数据处理后得到一维径向分布的面形响应函数；

对高阶球差的一维径向分布数据进行提取，然后用变形镜对高阶球差进行面形拟合；

通过二次球面透镜和和变形镜的组合工作，产生了贝塞尔光束所需要的波前。