[发明专利]集成电路产品测试方法有效

专利信息
申请号: 202010185424.5 申请日: 2020-03-17
公开(公告)号: CN111359910B 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 吴晨;柏艳 申请(专利权)人: 苏州日月新半导体有限公司
主分类号: B07C5/34 分类号: B07C5/34;B07C5/344;B07C5/02;B07C5/36
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 林斯凯
地址: 215021 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 产品 测试 方法
【说明书】:

本申请涉及集成电路产品测试方法。具体而言,本申请提供一种集成电路产品测试方法,其包含:将若干集成电路产品提供至测试工位;在所述测试工位上对所述若干集成电路产品执行电性测试;在所述测试工位上对所述若干集成电路产品中通过所述电性测试的集成电路产品执行在线品保测试;以及在所述测试工位上对通过所述若干集成电路产品中通过所述电性测试及所述在线品保测试的集成电路产品进行抽样。

技术领域

本申请大体涉及一种集成电路产品测试方法,且更具体来说涉及集成电路产品100%在线品质保证测试的方法。

背景技术

在半导体产业内,通常需要对已经制造完成的集成电路产品,如集成电路芯片进行各种测试。在对普通集成电路产品进行测试时,通常只需对全部待测集成电路产品中的每一者执行电性测试(以下简称“100%电性测试”)以及抽样测试即可满足测试要求。例如,首先在测试工位对集成电路产品执行100%电性测试,然后立刻按照抽样测试程序在同一测试工位对通过电性测试的集成电路产品抽样,如果抽中则立刻对该集成电路产品执行抽样测试。

然而,除上述普通集成电路产品外,业界还存在对于可靠性具有较高要求的特殊集成电路产品。例如,在高压与低压电路之间传输数据和电能时,可使用数字隔离集成电路产品以实现在高、低压电路间传输数据和电能的同时阻止危险直流电或不受控瞬变电流在高、低压电路间流通。上述特殊应用场景对数字隔离集成电路产品提出了高可靠性要求。相应地,数字隔离集成电路产品有必要接受包括品质保证测试(以下简称“品保测试”)在内的更为严苛的测试,以确保其满足高可靠性要求。

对于包含上述数字隔离集成电路产品在内的各种特殊集成电路产品,业界普遍期望在同一测试工位中能够一次性地完成100%电性测试、对全部待测集成电路产品中的每一者执行的在线品质保证测试(以下简称“100%在线品保测试”)以及抽样测试。然而,例如包含测试机和分选机在内的现有测试系统尚无法满足上述测试要求。

有鉴于此,本领域迫切需要提供改进方案以解决上述问题。

发明内容

本申请的实施例通过提供一种集成电路产品测试方法以试图在至少某种程度上解决至少一种存在于相关领域中的问题。

在一个实施例中,本申请提供了一种集成电路产品测试方法,包含:将若干集成电路产品提供至测试工位;在所述测试工位上对所述若干集成电路产品执行电性测试;在所述测试工位上对所述若干集成电路产品中通过所述电性测试的集成电路产品执行在线品保测试;以及在所述测试工位上对通过所述若干集成电路产品中通过所述电性测试及所述在线品保测试的集成电路产品进行抽样。

根据本申请的实施例,其进一步包含对所述若干集成电路产品中通过所述电性测试及品保测试但未被抽样的所述集成电路产品执行外观检测。

根据本申请的实施例,其中所述外观检测包含印字检测和引脚面检测中的至少一者。

根据本申请的实施例,其进一步包含将所述若干集成电路产品中通过所述外观检测的集成电路产品编带包装。

根据本申请的实施例,其进一步包含将所述若干集成电路产品中未通过所述电性测试的集成电路产品提供至废品料管装置。

根据本申请的实施例,其进一步包含将所述若干集成电路产品中通过所述电性测试但未通过所述在线品保测试的集成电路产品提供至品保测试废品料管。

根据本申请的实施例,其进一步包含将所述若干集成电路产品中通过所述电性测试和所述在线品保测试且被所述抽样选中的集成电路产品提供至品保测试废品料管。

根据本申请的实施例,其进一步包含将接受所述在线品保测试的所述集成电路产品提供至品保测试废品料管。

根据本申请的实施例,其中将接受所述在线品保测试的所述集成电路产品提供至品保测试废品料管包含调整或设定一或多个测试参数以使所述集成电路产品无法通过所述在线品保测试。

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