[发明专利]一种抛光盘冷却结构、抛光盘以及抛光机有效

专利信息
申请号: 202010185005.1 申请日: 2020-03-17
公开(公告)号: CN111230741B 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 王腾;阴俊沛;蒲以松 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B24B55/02 分类号: B24B55/02;B24B37/26;B24B27/00;B24B37/08;B24B47/12
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;胡影
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 冷却 结构 以及 抛光机
【权利要求书】:

1.一种抛光盘冷却结构,其特征在于,包括:

转轴,所述转轴的内部中空;

插设于所述转轴内部的中空管,所述中空管的内部形成为进水通道,所述中空管的外壁与所述转轴的内壁之间的空腔形成为出水通道,所述中空管的管壁开设有与所述进水通道连通的第一进水口和第二进水口;

呈上下设置的上冷却盘和下冷却盘,所述上冷却盘和所述下冷却盘均呈空心圆柱状且内部具有空腔,所述转轴穿过所述上冷却盘以及所述下冷却盘并与所述上冷却盘和所述下冷却盘同轴设置,所述上冷却盘的内部空腔与所述出水通道连通,所述下冷却盘的内部空腔通过所述第一进水口与所述进水通道连通,所述上冷却盘的底面边缘周向间隔开设有若干底面进水孔,所述下冷却盘的顶面边缘对应周向间隔开设有若干顶面进水孔;

与所述底面进水孔的数量相同的若干三通管,所述三通管的第一端通过所述第二进水口与所述进水通道连通,所述三通管的第二端与所述底面进水孔连通,所述三通管的第三端与所述顶面进水孔连通。

2.根据权利要求1所述的抛光盘冷却结构,其特征在于,所述上冷却盘和所述下冷却盘之间还设置有转台,所述三通管嵌设于所述转台的内部。

3.根据权利要求1所述的抛光盘冷却结构,其特征在于,所述三通管的数量为8个。

4.根据权利要求1所述的抛光盘冷却结构,其特征在于,所述上冷却盘、所述下冷却盘以及所述三通管均采用黄铜材料制作。

5.根据权利要求1所述的抛光盘冷却结构,其特征在于,还包括:

调节阀,所述调节阀设置于所述中空管内,用于控制所述进水通道内的流量和压力。

6.一种抛光盘,其特征在于,包括如权利要求1-5中任一项所述的抛光盘冷却结构,还包括:

设置于上冷却盘的顶面的上研磨盘;

设置于下冷却盘的底面的下研磨盘。

7.根据权利要求6所述的抛光盘,其特征在于,所述上研磨盘粘接于所述上冷却盘的顶面,所述下研磨盘粘接于所述下冷却盘的底面。

8.一种抛光机,其特征在于,包括如权利要求6-7中任一项所述的抛光盘。

9.根据权利要求8所述的抛光机,其特征在于,还包括:

驱动装置,所述驱动装置与转轴的一端连接,用于驱动所述转轴自转。

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